[實用新型]一種新型大面積混合型加熱板加熱系統

有效

• 申請號: 201420639265.1
• 申請日: 2015-01-07
• 公開（公告）號: CN204251711U
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發明（設計）人: 周震;張雨菲;田野
• 申請（專利權）人: 山東希格斯新能源有限責任公司
• 主分類號: C23C18/00
• 分類號: C23C18/00;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型大面積混合型加熱板加熱系統，該系統包含無氧銅加熱板、雙通道熱油加熱裝置、點狀電阻絲加熱裝置，溫度控制裝置、油循環裝置，其特征在于：

所述雙通道熱油加熱裝置包含油加熱熱油桶裝置、流量控制裝置、熱板中雙通道開槽溝油加熱裝置；其中熱板中雙通道開槽溝油加熱裝置埋在無氧銅加熱板中，槽兩端分別與油循環裝置的外循環油管道相連接，再外循環油管道上安裝有流量控制裝置和油桶；其中點狀電阻絲加熱裝置為尺寸為50mmx50mm四方塊電加熱絲，該裝置由至少多個分布在熱板中，雙通道熱油加熱裝置與點狀電阻絲加熱裝置并列交替排布，并且排布安裝與無氧銅加熱板內部，雙通道熱油加熱裝置進出端與油循環裝置相連接，溫度控制裝置中的熱電偶測溫裝置安裝于無氧銅加熱板下表面，用于事實測量其無氧銅加熱板溫度；

所述溫度控制裝置包含熱電偶測溫裝置、紅外測溫儀、PID模式控溫裝置、溫度控制計算模塊。

2.如權利要求1所述的一種新型大面積混合型加熱板加熱系統，其特征在于：所述溫度控制裝置結構是：熱電偶測溫裝置一端連接與無氧銅加熱板下表面，一端與PID模式控溫裝置相連接，其中紅外測溫儀的紅外線直接照射與無氧銅加熱板表面，并與PID模式控溫裝置相連接，熱電偶測溫裝置與紅外測溫儀屬于并聯關系，最后PID模式控溫裝置與溫度控制計算模塊相連接，最終構成溫度控制裝置。