[實用新型]一種阻隔杯的溶射治具

有效

• 申請號: 201420633683.X
• 申請日: 2014-10-29
• 公開（公告）號: CN204130508U
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 楊蘇圣
• 申請（專利權）人: 上海科秉電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海兆豐知識產權代理事務所(有限合伙) 31241
• 代理人: 李征旦

技術領域

本實用新型涉及一種治具，尤其涉及一種阻隔杯的溶射治具。

背景技術

Applied?Meterials(應用材料)所設計的Encore機型為300mm集成電路生產的重要設備，其中阻隔杯(CUP)為設備中核心零件，阻隔杯呈倒置的碗型結構，阻隔杯的中間開設一上、下貫通的通孔，且阻隔杯的上端開口的直徑小于阻隔杯的下端開口的直徑，阻隔杯主要用途是阻隔電漿能量及提供磁力線圈能量，零件的使用狀況集成電路生產的穩定度與品質有著密不可分的關系。

阻隔杯會因使用時間的增加，逐漸的消耗影響生產設備的品質與穩定度。當設備的穩定度或產品品質無法達到需求時，客戶的選擇都是以報廢舊品、更換新品的方式為最終的選擇。在成本的支出上是一個沉重的負擔。為此在阻隔杯外再覆蓋一層鋁溶射層，可有效的增加其使用壽命與效能。但由于阻隔杯造型特殊，優良的溶射質量不易提供。

以此為契機，以延長客戶端阻隔杯使用壽命、提供優良溶射質量主旨，構思開發新的溶射治具為亟待解決的問題。

發明內容

本實用新型的目的在于克服現有技術的缺陷，提供一種阻隔杯的溶射治具，它操作簡單容易，可有效的提供優良的溶射質量。

本實用新型的目的是這樣實現的：一種阻隔杯的溶射治具，所述阻隔杯呈倒置的碗型結構，所述阻隔杯的中間開設一上、下貫通的通孔，且所述阻隔杯的上端開口的直徑小于所述阻隔杯的下端開口的直徑，所述阻隔杯的溶射治具包括底座、立柱和頂桿，其中：

所述底座呈圓盤形，該底座水平設置；

所述立柱呈圓柱形，該立柱安裝在底座的上表面上，且所述立柱的中軸線與所述底座的中心在同一直線上；

所述頂桿呈圓柱形，該頂桿安裝在所述立柱的上端面上，且所述頂桿的中軸線與所述立柱的中軸線在同一直線上；

所述底座的直徑大于或等于所述阻隔杯的下端開口的直徑；

所述立柱的直徑小于所述阻隔杯的上端開口的直徑；

所述頂桿的直徑小于所述立柱的直徑；

所述底座、立柱和頂桿一體成型。

上述的阻隔杯的溶射治具，其中，所述底座、立柱和頂桿均采用不銹鋼制成。

本實用新型的阻隔杯的溶射治具，具有以下特點：

1.操作簡單容易，僅需要將阻隔杯安裝到本實用新型的溶射治具上即可，阻隔杯與溶射治具的結合方式清楚且簡單，可有效避免作業人員因為步驟繁多所造成的錯誤機率；

2.可有效的提供優良的溶射質量，提供集成電路生產設備的生產穩定度為此項技術最大的優勢；集成電路生產過程中，會因為零部件的品質差異，對生產穩定度有著不同程度的影響，當生產設備不穩定時，皆需要投入大量的人力、物力、時間去解決，對于分秒必爭的集成電路行業，是個沉重的負擔；

3.因為此項技術的開發，阻隔杯的品質得以控制并持續保持，可以有效的延長阻隔杯的使用壽命，大幅的降低客戶端對于阻隔杯的采購的成本，達成實質上有效的節約；

4.本實用新型的阻隔杯的溶射治具，保養維護容易，由于溶射治具采用不銹鋼制作，堅固且耐用，保養僅需要定期清潔外觀，以保持溶射治具干凈即可。

附圖說明

圖1為本實用新型的阻隔杯的溶射治具的立體圖；

圖2為本實用新型的阻隔杯的溶射治具的使用狀態圖。

具體實施方式

為了能更好地對本實用新型的技術方案進行理解，下面通過具體的實施例并結合附圖對本實用新型進行詳細的說明。

如圖1和圖2所示，阻隔杯1呈倒置的碗型結構，阻隔杯1的中間開設一上、下貫通的通孔，且阻隔杯1的上端開口的直徑小于阻隔杯1的下端開口的直徑。

本實用新型的阻隔杯的溶射治具2，與阻隔杯1相配合，用于阻隔杯1的鋁溶射，阻隔杯的溶射治具2包括底座21、立柱22和頂桿23。

底座21呈圓盤形，該底座21水平設置；立柱22呈圓柱形，該立柱22安裝在底座21的上表面上，立柱22的中軸線與底座21的中心在同一直線上；頂桿23呈圓柱形，該頂桿23安裝在立柱22的上端面上，頂桿23的中軸線與立柱22的中軸線在同一直線上，即頂桿23與立柱22同軸設置。

底座21的直徑大于或等于阻隔杯1的下端開口的直徑；立柱22的直徑小于阻隔杯1的上端開口的直徑；頂桿23的直徑小于立柱22的直徑；底座21、立柱22和頂桿23一體成型。

底座21、立柱22和頂桿23均采用高強度的不銹鋼制成，堅固且耐用，保養維護容易，僅需要定期清潔外觀，以保持溶射治具干凈即可。

底座21、立柱22和頂桿23均采用CNC精密加工切削而成。