[實(shí)用新型]噴淋蝕刻機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420630873.6
• 申請(qǐng)日: 2014-10-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204174097U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-02-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蒲中軍;鄧飛;徐曉君;王川;吳永壽;宣繼;李政昊;王月利;鐘耀;鄧歡
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都工投電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種用于TFT-LCD面板加工領(lǐng)域的噴淋式蝕刻機(jī)。

背景技術(shù)

噴淋式蝕刻機(jī)主要應(yīng)用于TFT-LCD面板的薄化，通過(guò)減小玻璃厚度，從而達(dá)到使最終產(chǎn)品更輕更薄、顯示色彩更加炫麗、觸控操作更加靈敏的作用，噴淋式蝕刻機(jī)是TFT-LCD面板制造過(guò)程的關(guān)鍵設(shè)備之一。隨著目前國(guó)內(nèi)外手機(jī)、平板電腦、照相機(jī)、攝像機(jī)等行業(yè)升溫和產(chǎn)量增加，市場(chǎng)對(duì)TFT-LCD面板的需求與日劇增，TFT-LCD面板制造企業(yè)對(duì)液晶面板薄化工序設(shè)備的需求將越來(lái)越多，因此，液晶面板薄化成套設(shè)備的市場(chǎng)前景非常廣闊。目前，國(guó)內(nèi)沒(méi)有掌握液晶面板薄化核心技術(shù)，不能生產(chǎn)液晶面板薄化成套設(shè)備，全球僅有美國(guó)、日本、韓國(guó)等少數(shù)國(guó)家能生產(chǎn)此類設(shè)備，國(guó)內(nèi)所有同類設(shè)備均從韓國(guó)和日本進(jìn)口。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型針對(duì)上述技術(shù)現(xiàn)狀，通過(guò)不斷進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新，在引進(jìn)和借鑒日本、韓國(guó)此類設(shè)備先進(jìn)技術(shù)的基礎(chǔ)上，積極開(kāi)拓，開(kāi)發(fā)了一種噴淋式蝕刻機(jī)，該機(jī)采用噴淋式蝕刻減薄技術(shù)，比傳統(tǒng)的研磨式、浸泡式有著明顯優(yōu)勢(shì)，具有重大技術(shù)創(chuàng)新突破，在同類產(chǎn)品中達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平。

為了實(shí)現(xiàn)實(shí)用新型的最終目的，擬采用以下技術(shù)：

噴淋式蝕刻機(jī)，包括機(jī)體（1）以及與機(jī)體（1）的連接的藥液循環(huán)系統(tǒng)（2），其中，

機(jī)體（1）主要由清洗區(qū)（10），與清洗區(qū)（10）緊密銜接的蝕刻區(qū)（11）兩部分組成，所述清洗區(qū)（10）與蝕刻區(qū)（11）均設(shè)置有相應(yīng)的清洗區(qū)驅(qū)動(dòng)門（100）和蝕刻區(qū)驅(qū)動(dòng)門（110），清洗區(qū)驅(qū)動(dòng)門（100）和蝕刻區(qū)驅(qū)動(dòng)門（110）把清洗區(qū)（10）和蝕刻區(qū)（11）隔離成兩個(gè)相互獨(dú)立的工作區(qū)，所述清洗區(qū)（10）上方設(shè)置有清洗噴淋裝置（101），清洗區(qū)（10）側(cè)板下方設(shè)置有同步帶傳送裝置（102），所述蝕刻區(qū)（11）上方設(shè)置有活動(dòng)可拆卸的蝕刻噴淋裝置（111），蝕刻區(qū)（11）右下方設(shè)置有伺服驅(qū)動(dòng)電機(jī)（112），所述機(jī)體（1）下方設(shè)置有貫穿清洗區(qū)（10）與蝕刻區(qū)（11）的滑軌（13），滑軌（13）配裝有相適應(yīng)的托盤（14），機(jī)體（1）兩側(cè)側(cè)板下方設(shè)置有貫穿清洗區(qū)（10）與蝕刻區(qū)（11）的回型防水槽（15）；

本實(shí)用新型通過(guò)機(jī)體兩側(cè)側(cè)板下方設(shè)置有貫穿清洗區(qū)與蝕刻區(qū)的回型防水槽，工作過(guò)程中，回型防水槽通入循環(huán)水，使得伺服電機(jī)、減速器、同步帶傳送裝置與清洗區(qū)和蝕刻區(qū)隔離開(kāi)，有效保護(hù)了伺服電機(jī)、減速器、同步帶傳送裝置，減少了酸霧對(duì)其的腐蝕，延長(zhǎng)了伺服電機(jī)、減速器、同步帶傳送裝置的使用壽命。

藥液循環(huán)系統(tǒng)（2）主要由DA水罐體（20）、化學(xué)藥液罐體（21）以及與機(jī)體（1）相連接的管道、閥門以及循環(huán)泵組成，所述化學(xué)藥液罐體（21）上設(shè)置有液位指示器（210）、底部設(shè)置有加熱器（211），頂部設(shè)置有冷卻水連接器（214）以及恒溫傳感裝置（216）。

為達(dá)到減輕整機(jī)重量之目的，同時(shí)不失整機(jī)強(qiáng)度，所述清洗區(qū)（10）與蝕刻區(qū)（11）下方設(shè)置有貫穿機(jī)體（1）的牙嵌狀承載結(jié)構(gòu)（12）。

為達(dá)到自動(dòng)控制之目的，所述清洗區(qū)驅(qū)動(dòng)門（100）由設(shè)置在清洗區(qū)（10）進(jìn)料側(cè)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)（1000）、導(dǎo)向輪（1001）以及齒輪齒條機(jī)構(gòu)（1002）共同控制。

同樣道理，所述蝕刻區(qū)驅(qū)動(dòng)門（110）由設(shè)置在蝕刻區(qū)（11）進(jìn)料側(cè)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)、導(dǎo)向輪、以及齒輪齒條機(jī)構(gòu)共同控制，控制原理同清洗區(qū)驅(qū)動(dòng)門（100）。

為方便后期保養(yǎng)、維修之目的，所述蝕刻噴淋裝置（111）可在蝕刻區(qū)（11）上活動(dòng)拆卸，蝕刻噴淋裝置（111）在結(jié)構(gòu)上主要由橫管（1110）、縱管（1112）以及布置在橫管（1110）與縱管（1112）之間的噴淋管（1113）組成，縱管（1112）上方連接有進(jìn)液管，進(jìn)液管上方設(shè)置有快速拆裝的活接頭（1115），縱管（1112）下方設(shè)置有導(dǎo)輪（1114），縱管（1112）與噴淋管（1113）之間設(shè)置有加強(qiáng)筋板（1111）。

為使托盤（14）在清洗區(qū)（10）和蝕刻區(qū)（11）運(yùn)動(dòng)速度適中且托盤（14）在兩條滑軌（13）運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，所述伺服驅(qū)動(dòng)電機(jī)（112）輸出端連接有減速器，減速器輸出端連接有同步帶輪，同步帶輪通過(guò)同步帶與設(shè)置在清洗區(qū)（10）下方的同步帶傳送裝置（102）相配合。

為達(dá)到雙面瀑布蝕刻流效果，所述蝕刻噴淋裝置（111）還設(shè)置有呈方形陣列形狀的可拆卸噴嘴單元，噴嘴單元設(shè)置在噴淋管（1113）的下方。

進(jìn)一步地，所述化學(xué)藥液罐體（21）上方還設(shè)置有加液口（213）和藥液回流口（215），側(cè)面設(shè)置有出液口（212）。