[實用新型]一種激光輔助低溫生長氮化物材料的裝置

有效

• 申請號: 201420609361.1
• 申請日: 2014-10-18
• 公開（公告）號: CN204185555U
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發明（設計）人: 曾曉雁;陸永楓;郭連波
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: C23C16/48
• 分類號: C23C16/48;C23C16/34
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 曹葆青

1.一種激光輔助低溫生長氮化物材料的裝置，其特征在于，該裝置包括真空反應腔、氣體預混合腔、激光器和移動機構；

所述激光器為波長可調諧的CO₂激光器，真空反應腔上設置有激光入射窗口和激光出射窗口；

激光器的出光口、光斑調節器、激光入射窗口和激光出射窗口依次位于同一光路上，激光出射窗口處安裝有激光功率計；

加熱器位于真空反應腔內，加熱器表面用于放置襯底；

氣體預混合腔安裝在真空反應腔的上面，氣體預混合腔的進氣端分別與前驅體與運載氣體的進氣管、氮源進氣管連接，出氣端與送氣管的一端連接，送氣管的另一端伸入真空反應腔內的襯底附近；

所述移動機構用于激光束與襯底產生相對移動。

2.根據權利要求1所述的激光輔助低溫生長氮化物材料的裝置，其特征在于，所述移動機構為位于真空反應腔內的三維移動平臺，所述加熱器位于三維位移平臺的工作臺面上。

3.根據權利要求1所述的激光輔助低溫生長氮化物材料的裝置，其特征在于，所述移動機構由固定反射鏡和可移動掃描反射鏡構成，所述固定反射鏡與光斑調節器的光軸成45度角放置，所述可移動掃描反射鏡位于激光入射窗口處，并與固定反射鏡平行放置；由所述激光器射的激光束通過光斑調節器后，光斑直徑調節到所需要尺寸大小的平行光斑，然后通過固定反射鏡，入射到所述可移動掃描反射鏡的反射面，然后通過所述激光入射窗口進入真空反應腔。

4.根據權利要求1、2或3所述的激光輔助低溫生長氮化物材料的裝置，其特征在于，所述光斑調節器由光軸位于同一直線上的可移動的第一凹透鏡和固定的凸透鏡以及可移動的第二凹透鏡組成。