[實(shí)用新型]一種MEMS器件結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420599699.3
• 申請(qǐng)日: 2014-10-16
• 公開（公告）號(hào): CN204097077U
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭超;李衛(wèi)剛;劉煉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): B81B7/02
• 分類號(hào): B81B7/02;B81B3/00
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種MEMS器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述MEMS器件結(jié)構(gòu)包括：基底；設(shè)置于所述基底上的平行板電容器，所述平行板電容器的一個(gè)極板為振動(dòng)膜，另一個(gè)極板為固定極板，所述振動(dòng)膜與所述固定極板之間為空腔；以及設(shè)置于所述固定極板上，且朝向于所述振動(dòng)膜的多個(gè)凸起件，所述凸起件設(shè)置于所述固定極板的周側(cè)區(qū)域。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS器件結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述凸起件不設(shè)置于所述固定極板的中間區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS器件結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述平行板電容器還包括設(shè)置于所述基底與所述固定極板之間的隔離層，所述隔離層中間設(shè)置有所述空腔，所述振動(dòng)膜的固定于所述隔離層內(nèi)，所述振動(dòng)膜的其他部分懸空于所述空腔內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS器件結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述隔離層的材質(zhì)為二氧化硅。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS器件結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述凸起件到所述振動(dòng)膜平面的距離設(shè)置為1微米～2微米。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS器件結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述固定極板及所述振動(dòng)膜的材質(zhì)為鋁。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS器件結(jié)構(gòu)，其特征在于：各凸起件的材質(zhì)為氮化硅。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS器件結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述凸起件不少于3個(gè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS器件結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述凸起件為圓柱體結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS器件結(jié)構(gòu)，其特征在于：與所述平行板電容器相對(duì)位置的所述基底上設(shè)有開口。