[實用新型]弧形工作面氟橡膠真空吸嘴有效
| 申請號: | 201420570444.4 | 申請日: | 2014-09-29 |
| 公開(公告)號: | CN204130516U | 公開(公告)日: | 2015-01-28 |
| 發明(設計)人: | 關光武;姜喆 | 申請(專利權)人: | 關光武 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518052 廣東省深圳市南山區高*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 弧形 工作面 氟橡膠 真空 | ||
1.一種弧形工作面氟橡膠真空吸嘴,其包括用于吸附芯片的吸嘴主體;所述的吸嘴主體包括吸嘴以及與吸嘴一體設計的吸嘴墊;其特征在于:所述的吸嘴(1)的內部設有安裝腔,該安裝腔的底端設有真空通道,從真空通道兩端的端面處分別延伸出端面圓形倒角,從該端面圓形倒角一端延伸形成一弧形工作面;該弧形工作面與芯片邊緣形成線接觸的接觸部。?
2.根據權利要求1所述弧形工作面氟橡膠真空吸嘴,其特征在于:所述的真空通道,兩側的端面圓形倒角,兩側的弧形工作面以及芯片形成真空吸腔。?
3.根據權利要求1所述弧形工作面氟橡膠真空吸嘴,其特征在于:所述的接觸部是由所述弧形工作面尾端接觸部分與芯片兩端邊緣的接觸部分相交接觸處形成接觸線。?
4.根據權利要求1所述弧形工作面氟橡膠真空吸嘴,其特征在于:所述的弧形工作面的弧高介于10度至15度。?
5.根據權利要求1所述弧形工作面氟橡膠真空吸嘴,其特征在于:所述的端面圓形倒角的角度介于5度至10度。?
6.根據權利要求1所述弧形工作面氟橡膠真空吸嘴,其特征在于:所述的弧形工作面的展開面為長方形或正方形,該長方形或正方形的單邊尺寸大于相對應的芯片的單邊的尺寸3微米至5微米。?
7.根據權利要求1所述弧形工作面氟橡膠真空吸嘴,其特征在于:所述的安裝腔內部安裝于安裝桿,該安裝腔內部的底端設置有用于固定安裝桿位置的限位擋體。?
8.根據權利要求7所述弧形工作面氟橡膠真空吸嘴,其特征在于:所述的限位檔體是由長方形或圓環體或截面為長方體構成,所述的限位檔體底部中心位置處與真空通道相互導通。?
9.根據權利要求1所述弧形工作面氟橡膠真空吸嘴,其特征在于:所述的吸嘴墊的內部分別設置有真空通道,端面圓形倒角以及弧形工作面,該真空通道,端面圓形倒角,弧形工作面以及芯片一表面形成真空吸腔。?
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





