[實用新型]一種基于直線平移的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420569916.4
• 申請日: 2014-09-29
• 公開（公告）號: CN204118463U
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳聰;何鐵鋒;陳義紅;吳熱平
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州安特激光技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01S3/10
• 分類號: H01S3/10
• 代理公司: 廣州市越秀區(qū)海心聯(lián)合專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44295
• 代理人: 黃為

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及激光器技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，特別涉及一種基于直線平移的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器。

背景技術(shù)

激光加工技術(shù)作為先進制造技術(shù)之一，在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造、加工技術(shù)革新、國防信息化等方面發(fā)揮著重要作用，激光被譽為“萬能加工工具”，未來制造系統(tǒng)的共同加工手段。例如近年來，廣泛應(yīng)用于薄鋼板、不銹鋼、鋁合金板、硬質(zhì)合金等金屬材料的切割、打標、沖孔的1064nm紅外激光加工系統(tǒng)；以及最近幾年逐漸興起用于陶瓷片、玻璃、PCB板、太陽能電池片等材料的532nm綠光激光加工系統(tǒng)。

但是目前大部分激光器要不是單一波長輸出，例如，專利“一種532nm綠光激光器(CN201320703515.9)”等，要么是雙波長同時輸出，如專利“紅綠雙波長激光器”(CN02117364.8)等，不能自由切換選擇某一波長輸出，即使目前有選擇波長輸出的激光器也是幾種波長分幾路分別同時輸出，相當(dāng)于幾臺激光器同時使用，如專利“一種風(fēng)速儀用三端輸出雙532nm與808nm波長光纖激光”(CN201320659650.8)等，無法實現(xiàn)一棒多波長輸出技術(shù)，使得激光器應(yīng)用起來比較繁瑣，不利于工業(yè)化現(xiàn)場的應(yīng)用。

因此，有必要研究一種1064nm及532nm自由切換的激光器，可根據(jù)需要改變輸出波長，滿足加工的多樣性的需要。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種可根據(jù)需要改變輸出波長以滿足加工多樣性的基于直線平移的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器。

為了達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案如下：

一種基于直線平移的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，包括1064nm波長諧振腔、532nm波長諧振腔、用于產(chǎn)生激光的泵浦模塊，以及用于使泵浦模塊產(chǎn)生的激光于1064nm波長諧振腔和532nm波長諧振腔之間切換的直線平移型波長自由切換系統(tǒng)。

優(yōu)選地，還包括全反鏡和1064nm輸出鏡，所述1064nm波長諧振腔為由全反鏡和1064nm輸出鏡構(gòu)成的諧振腔，所述泵浦模塊設(shè)于全反鏡與1064nm輸出鏡之間。

優(yōu)選地，還包括依次設(shè)置的倍頻單元和532nm輸出鏡，所述倍頻單元和532nm輸出鏡構(gòu)成的光路的光軸與1064nm輸出鏡的光軸相平行，所述1064nm輸出鏡、倍頻單元和532nm輸出鏡依次設(shè)置，所述532nm波長諧振腔為由全反鏡、倍頻單元和532nm輸出鏡構(gòu)成的諧振腔。

優(yōu)選地，所述倍頻單元包括依次設(shè)置的諧波鏡和倍頻晶體，且所述諧波鏡和倍頻晶體構(gòu)成的光路的光軸與532nm輸出鏡的光軸共線。

優(yōu)選地，所述1064nm輸出鏡、諧波鏡、倍頻晶體和532nm輸出鏡集成于一倍頻模塊上，所述直線平移型波長自由切換系統(tǒng)為一用于安裝所述倍頻模塊的直線移動機構(gòu)，該直線移動機構(gòu)在工作時可使泵浦模塊產(chǎn)生的激光于1064nm波長諧振腔和532nm波長諧振腔之間切換。

優(yōu)選地，所述直線移動機構(gòu)為由電機驅(qū)動的齒輪齒條機構(gòu)、由油缸或氣缸驅(qū)動的滑塊導(dǎo)軌式移動機構(gòu)或線性模組。

優(yōu)選地，所述泵浦模塊包括泵浦源和晶體，所述泵浦源和晶體形成側(cè)面抽運模塊式結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，還包括設(shè)于泵浦模塊與全反鏡之間的Q開關(guān)。

優(yōu)選地，所述全反射為平面鏡，該平面鏡的右面鍍有1064nm高反膜；所述諧波鏡為平面鏡，該平面鏡的右面鍍有1064增透膜，左面鍍有1064nm高透膜和532nm高反膜；所述532nm輸出鏡為平面鏡，該平面鏡的兩面均鍍有1064nm高反和532nm高透膜；所述1064nm輸出鏡為平面鏡，該平面鏡的兩面均鍍有透過率為30％的1064nm透膜。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于：本實用新型可根據(jù)需要改變輸出波長以滿足加工多樣性，具有光學(xué)耦合簡單、結(jié)構(gòu)緊湊、熱效應(yīng)小且比較均勻、倍頻效率高、激光器穩(wěn)定性好等特點。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型所述基于直線平移的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器主視圖。

圖2是本實用新型所述基于直線平移的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器處于1064nm波長諧振腔時的俯視圖。