[實用新型]激光于玻璃內(nèi)部加工導(dǎo)光板的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420546264.2 | 申請日： | 2014-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN204065452U | 公開（公告）日： | 2014-12-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙裕興;狄建科;益凱劼;張子國 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州德龍激光股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B6/00 | 分類號： | G02B6/00;C03B19/06 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237 | 代理人： | 王玉國 |
| 地址： | 215021 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 激光 玻璃 內(nèi)部 加工 導(dǎo)光板 裝置 | ||
1.激光于玻璃內(nèi)部加工導(dǎo)光板的裝置，包含激光器(1)和載物平臺(8)，其特征在于：所述激光器(1)的輸出端光路上依次設(shè)置有擴束鏡(3)、45度全反射鏡組(4)、光束整形單元(5)和掃描振鏡(7)，掃描振鏡(7)的光束輸出端正對于載物平臺(8)，掃描振鏡(7)上安裝有CCD系統(tǒng)(6)，CCD系統(tǒng)(6)的鏡頭正對于載物平臺(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光于玻璃內(nèi)部加工導(dǎo)光板的裝置，其特征在于：所述載物平臺(8)上設(shè)有用于吸附待加工工件的真空吸附裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光于玻璃內(nèi)部加工導(dǎo)光板的裝置，其特征在于：所述45度全反射鏡組(4)包含第一全反射鏡和第二全反射鏡，第一全反射鏡與第二全反射鏡的反射面均勻光路呈45°。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光于玻璃內(nèi)部加工導(dǎo)光板的裝置，其特征在于：所述激光器(1)是激光波長為266nm～1064nm、脈寬為1ps～200ns、頻率為10KHz～2MHz的高頻率短脈沖激光器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光于玻璃內(nèi)部加工導(dǎo)光板的裝置，其特征在于：所述激光器(1)與擴束鏡(3)之間光路設(shè)置有光閘(2)。
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