[發明專利]微開關器件及其制造方法

有效

• 申請號: 200810001293.X
• 申請日: 2008-01-17
• 公開（公告）號: CN101226856A
• 公開（公告）日: 2008-07-23
• 發明（設計）人: 阮俊英;中谷忠司;上田知史;米澤游;三島直之
• 申請（專利權）人: 富士通株式會社
• 主分類號: H01H59/00
• 分類號: H01H59/00;H01H49/00;B81B7/02;B81C1/00
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 張龍哺

1.一種微開關器件，包括：

固定部；

可移動部，包括第一表面以及與所述第一表面相對的第二表面，所述可移動部包括固定到所述固定部的固接端；

可移動接觸電極，設置在所述可移動部的第一表面上，并且包括第一接觸部和第二接觸部；

第一固接接觸電極，包括與所述可移動接觸電極的第一接觸部相接觸的第三接觸部，所述第一固接接觸電極接合到所述固定部；

第二固接接觸電極，包括與所述可移動接觸電極的第二接觸部相面對的第四接觸部，所述第二固接接觸電極接合到所述固定部；以及

驅動機構，用于移動所述可移動部，使所述第二接觸部與所述第四接觸部相接觸。

2.如權利要求1所述的微開關器件，其中，所述可移動接觸電極的第一接觸部與所述第一固接接觸電極的第三接觸部相連接。

3.如權利要求1所述的微開關器件，其中，所述可移動接觸電極包括第一突出部和第二突出部，所述第一突出部包括所述第一接觸部，所述第二突出部包括所述第二接觸部，所述第二突出部的突出長度短于所述第一突出部的突出長度。

4.如權利要求1所述的微開關器件，其中，所述第一固接接觸電極包括第三突出部，所述第二固接接觸電極包括第四突出部，所述第三突出部包括所述第三接觸部，所述第四突出部包括所述第四接觸部，所述第四突出部的突出長度短于所述第三突出部的突出長度。

5.如權利要求1所述的微開關器件，其中，在所述可移動部的第一表面上，所述可移動接觸電極與所述固接端在偏移方向上間隔開，所述第一接觸部與所述第二接觸部在與所述偏移方向交叉的方向上間隔開，所述驅動機構包括位于所述可移動部的第一表面上的驅動力產生區域，所述驅動力產生區域的重心距離所述可移動接觸電極的第二接觸部比距離所述第一接觸部更近。

6.如權利要求5所述的微開關器件，其中，所述可移動部的固接端與所述可移動接觸電極的第一接觸部之間的距離不同于所述固接端與所述第二接觸部之間的距離。

7.如權利要求5所述的微開關器件，其中，所述可移動部具有彎曲結構。

8.如權利要求5所述的微開關器件，其中，所述驅動力產生區域的重心和所述第二接觸部位于虛線的同一側，所述虛線經過所述固接端的長度中點和所述第一接觸部與所述第二接觸部之間的中點。

9.如權利要求1所述的微開關器件，其中，所述驅動機構包括可移動驅動電極和固接驅動電極，所述可移動驅動電極設置在所述可移動部的第一表面上，所述固接驅動電極接合到所述固定部并且具有與所述可移動驅動電極相對的部分。

10.如權利要求1所述的微開關器件，其中，所述驅動機構包括由第一電極層、第二電極層以及壓電層構成的多層結構，所述第一電極層設置在所述可移動部的第一表面上，所述壓電層設置在所述第一電極層與所述第二電極層之間。

11.如權利要求1所述的微開關器件，其中，所述驅動機構包括由多個材料層構成的多層結構，所述多個材料層設置在所述可移動部的第一表面上，所述多個材料層中的各個材料層具有不同的熱膨脹系數。