[實用新型]一種基于微環的掩埋溝道式帶寬調諧器件

有效

• 申請號: 201420530488.4
• 申請日: 2014-09-16
• 公開（公告）號: CN204129368U
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 平均芬;陳立建;朱小明;周雪;錢芳
• 申請（專利權）人: 平均芬
• 主分類號: G02F1/01
• 分類號: G02F1/01;G02B6/122
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 王利強

技術領域

本實用新型涉及一種集成型光學器件，尤其是一種集成型的可動態調諧帶寬的器件。

背景技術

人類的生活越來越依賴于高速度、大容量、動態靈活的光通信網絡。從最初利用網絡進行簡單的聲音和數據傳遞，到現今在網上進行個人銀行賬戶處理、參與交互式網絡游戲、參加實時視頻會議等，向著利用網絡進行動態的、分布式信息傳輸和交換的方向發展。這就要求新一代的通信網絡和城市信息基礎設施具備高速度、大容量，并可進行動態帶寬調諧以適應終端用戶動態的、不同帶寬粒度和不同類型信息的傳輸和交換的需求。因此如何基于光通信技術進行帶寬的動態調諧就成了亟待解決的核心技術問題，與此同時，研發可進行帶寬動態調諧的光通信器件以滿足新一代通信網絡的要求也迫在眉睫。

現有的波長信道帶寬可動態調諧的濾波器件，主要利用光纖光柵、馬赫-曾德爾干涉儀(MZI)、微電機系統(MEMS)和微環諧振器技術，現有技術的缺點主要有尺寸大、結構復雜、帶寬受噪聲影響嚴重、激發電壓高等。與本實用新型最接近的是基于微電機系統(MEMS)技術和微環諧振器相結合的技術(Yao?Jin,Wu?Ming?C,基于微電機系統驅動的硅材料微環面諧振器的帶寬調諧分插濾波器,Optics?Letters,2009,34(17):2557-2559)，它利用MEMS技術調節微環的耦合系數，從而實現了約0.12nm的帶寬調諧，只是這樣的調諧方法需要接近40V的激發電壓。為滿足應用領域的迫切需求。

發明內容

為了克服已有帶寬調諧器件尺寸大、結構復雜、帶寬受噪聲影響嚴重、激發電壓高的不足，本實用新型提供一種可動態調諧、集成度高、結構簡單、帶寬受噪聲影響小、激發電壓小的基于微環的掩埋溝道式帶寬調諧器件。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種基于微環的掩埋溝道式帶寬調諧器件，包括波導基層、輸入直波導、微環波導、輸出直波導、隔離層和金屬加熱片，所述輸入直波導、微環波導和輸出直波導并排依次位于波導基層上，所述波導基層上開有與輸入直波導和輸出直波導垂直并通過微環波導圓心的掩埋型溝道，所述隔離層位于輸入直波導、微環波導和輸出直波導上，所述金屬加熱片沉積于隔離層上；所述輸入直波導、微環波導之間具有滿足狹縫波導條件且狹縫耦合區能量最高的輸入間隔，所述微環波導和輸出直波導之間具有滿足狹縫波導條件且狹縫耦合區能量最高的輸出間隔，所述金屬加熱片位于所述輸入間隔和輸出間隔的上方。

進一步，所述金屬加熱片有兩片，分別為輸入加熱片和輸出加熱片，所述輸入加熱片位于所述輸入間隔的上方，所述輸出加熱片位于所述輸出間隔的上方。

再進一步，所述掩埋型溝道的寬度大于所述金屬加熱片的寬度。

更進一步，所述掩埋型溝道為矩形溝道。