[實用新型]一種減少多晶硅還原爐尾氣中硅粉含量的裝置

有效

• 申請號: 201420524630.4
• 申請日: 2014-09-12
• 公開（公告）號: CN204057976U
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: 劉丹丹;孫運德;銀波;潘小龍
• 申請（專利權）人: 新特能源股份有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

1.一種減少多晶硅還原爐尾氣中硅粉含量的裝置，所述尾氣包含硅粉、氫氣、二氯二氫硅氣體、三氯氫硅氣體和四氯化硅氣體，其特征在于，所述裝置包括氯化氫氣體提供單元，其通過氯化氫氣體管道與還原爐尾氣管道相連，用于在還原爐內的多晶硅棒生長后期向所述還原爐尾氣管道中通入氯化氫氣體，所述氯化氫氣體能夠與所述尾氣中的硅粉發生反應生成氯硅烷氣體和氫氣從而減少所述尾氣中硅粉的含量。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括氯化氫氣體流量控制單元，其設置在所述氯化氫氣體管道上，用于控制所述氯化氫氣體提供單元向所述還原爐尾氣管道中通入預定流量的氯化氫氣體。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述預定流量的氯化氫氣體的流量為15kg/h～30kg/h。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述氯化氫氣體管道與所述還原爐尾氣管道的連接處設置有進料口；所述進料口包括一個位于中心的主進料口和至少兩個位于四周且均勻分布的副進料口。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述主進料口采用圓柱狀結構，該圓柱狀主進料口的直徑為10mm～15mm；每個所述副進料口采用螺旋式結構，該螺旋式副進料口與水平面的夾角為60°。

6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括第一換熱單元，其分別與三氯氫硅和氫氣的混合氣進料管道、所述還原爐尾氣管道的位于其與所述氯化氫氣體管道的連接處之后的管道相連，用于使所述三氯氫硅和氫氣的混合氣進料管道中的進料氣與所述還原爐尾氣管道的位于其與所述氯化氫氣體管道的連接處之后的管道中的尾氣進行換熱處理，從而提高所述進料氣的溫度。

7.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述第一換熱單元采用三層套管結構，該三層套管結構的管程用于傳輸所述三氯氫硅和氫氣的混合氣進料管道中的進料氣、殼程用于傳輸所述還原爐尾氣管道的位于其與所述氯化氫氣體管道的連接處之后的管道中的尾氣、夾套用于傳輸冷卻介質。

8.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括第一測溫單元和第二測溫單元，所述第一測溫單元設置在位于還原爐的出氣端處的還原爐尾氣管道上，用于測量還原爐的出氣端的溫度，所述第二測溫單元設置在位于還原爐的進氣端處的三氯氫硅和氫氣的混合氣進料管道上，用于測量還原爐的進氣端的溫度。

9.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括第二換熱單元和取樣分析單元，所述還原爐尾氣管道的位于其與所述氯化氫氣體管道的連接處之后的管道上設置有取樣口，所述第二換熱單元分別與所述取樣口和取樣分析單元相連，用于對從所述取樣口流出的尾氣進行換熱處理，以使得從所述取樣口流出的尾氣中的氯硅烷氣體液化，所述取樣分析單元用于檢測從所述取樣口流出的經過所述第二換熱單元換熱處理后的尾氣的澄清度和尾氣中硅粉顆粒的含量。

10.根據權利要求1～9中任一項所述的裝置，其特征在于，所述還原爐尾氣管道采用雙層套管結構，該雙層套管結構的管程用于傳輸尾氣、殼程用于傳輸冷卻介質。