[實用新型]一種硅片切割裝置

有效

• 申請號: 201420511626.4
• 申請日: 2014-09-05
• 公開（公告）號: CN204076549U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 狄紅祥;張建;靳達興
• 申請（專利權）人: 中衛市銀陽新能源有限公司
• 主分類號: B28D7/02
• 分類號: B28D7/02;B28D7/04;B28D5/00
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 張榮

技術領域

本實用新型涉及硅片生產加工領域，特別是，涉及一種硅片切割裝置。

背景技術

硅片的切割過程中，產生大量的熱量，砂漿內的硅與水會發生化學反應，造成砂漿的粘度急劇升高，而流動性降低，從而使得砂漿夾在相鄰兩硅片之間不容易滴落并逐漸累積，從而在硅棒兩端產生一個較大的側向力，而且這一側向力會沿著硅棒長度方向逐漸累加，位于硅棒兩端的硅片受到的側向力最大，最終導致硅片出現大量外張崩邊，甚至會發生斷片的嚴重事故。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型的目的在于提供一種硅片切割裝置，通過冷卻槽的設計，降低切割裝置內溫度，減少高溫對砂漿的影響；通過限位塊的抵持，抵消掉切割過程中硅片間產生的側向力，保證硅塊位置的穩定，提高了切割硅片的質量，通過提高成品率進一步降低生產成本。

為解決上述問題，本實用新型所采用的技術方案如下：

一種硅片切割裝置，包括工件板、限位塊和用于固定連接硅塊的玻璃板，所述玻璃板粘接在工件板一側，所述限位塊粘接在工件板上；所述工件板與玻璃板粘接面上還設有冷卻槽。

優選的，所述冷卻槽兩端設有冷卻液進出口。

優選的，所述冷卻槽內設有冷卻管，所述冷卻管在冷卻槽兩端設有冷卻液進出口。

優選的，所述冷卻管為金屬管。

優選的，所述限位塊有2塊，且平行設置在玻璃板對稱的兩端，與玻璃板相抵持。

優選的，所述限位塊中心線平行于切割線運行方向。

優選的，所述限位塊高度不小于玻璃板厚度和硅塊厚度之和的1/2。

優選的，所述限位塊高度等于玻璃板厚度和硅塊厚度之和。

優選的，所述冷卻槽為平行設置的直線型槽。

優選的，所述冷卻槽為平行設置的S型槽。

相比現有技術，本實用新型的有益效果在于：

1、本實用新型通過冷卻槽的設計，降低切割裝置內溫度，減少高溫對砂漿的影響；通過限位塊的抵持，抵消掉切割過程中硅片間產生的側向力，保證硅塊位置的穩定，提高了切割硅片的質量，通過提高成品率進一步降低生產成本；

2、本實用新型選用平行設置的金屬冷卻管，大大增加了接觸面積，更好的達到降溫的效果。

附圖說明

圖1為本實用新型硅片切割裝置結構示意圖；

圖2為本實用新型中工件板上直線型槽結構示意圖；

圖3為本實用新型中工件板上S型槽結構示意圖；

其中，1為工件板，2為玻璃板，3為限位塊，4為硅塊，5為切割線，6為冷卻槽。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細說明。

如圖1所示，為一種硅片切割裝置，包括工件板1、限位塊3和用于固定連接硅塊4的玻璃板2，玻璃板2粘接在工件板1一側，工件板1與玻璃板2粘接面上還設有冷卻槽6，冷卻槽6兩端設有冷卻液進出口；限位塊3有2塊，粘接在工件板1上，且平行設置在玻璃板2對稱的兩端，與玻璃板2相抵持；限位塊3中心線平行于切割線運行方向。限位塊3高度不小于玻璃板2厚度和硅塊4厚度之和的1/2。

實施例1

硅片切割裝置包括工件板1、限位塊3和用于固定連接硅塊4的玻璃板2，玻璃板2粘接在工件板1一側，工件板1與玻璃板2粘接面上還設有平行設置的直線型冷卻槽6，冷卻槽6內設有金屬冷卻管，冷卻管在冷卻槽6兩端設有冷卻液進出口；限位塊3有2塊，粘接在工件板1上，且平行設置在玻璃板2兩端，與玻璃板2相抵持；限位塊3中心線平行于切割線運行方向；限位塊3高度等于玻璃板2厚度和硅塊4厚度之和的1/2。工件板1和玻璃板2之間采用粘玻璃膠相互粘接，玻璃板2和硅塊4之間采用粘棒膠相粘接。

實施例2

硅片切割裝置包括工件板1、限位塊3和用于固定連接硅塊4的玻璃板2，玻璃板2粘接在工件板1一側，工件板1與玻璃板2粘接面上還設有平行設置的S型冷卻槽6，冷卻槽6內設有金屬冷卻管，冷卻管在冷卻槽6兩端設有冷卻液進出口；限位塊3有2塊，粘接在工件板1上，且平行設置在玻璃板2兩端，與玻璃板2相抵持；限位塊3中心線平行于切割線運行方向；限位塊3高度等于玻璃板2厚度和硅塊4厚度之和。工件板1和玻璃板2之間采用粘玻璃膠相互粘接，玻璃板2和硅塊4之間采用粘棒膠相粘接。

使用時，將寬度與限位塊3之間玻璃板2等寬的硅塊4粘連在玻璃板2上，冷卻槽6內開始通入冷卻液，在切割線5下進行切割即得穩定質量硅片。

對本領域的技術人員來說，可根據以上描述的技術方案以及構思，做出其它各種相應的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應該屬于本實用新型權利要求的保護范圍之內。