[實用新型]一種玻璃晶圓腐蝕治具

有效

• 申請號: 201420490953.6
• 申請日: 2014-08-29
• 公開（公告）號: CN204097334U
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 平尾誠
• 申請（專利權）人: 泰庫尼思科電子（蘇州）有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型具體涉及一種用于玻璃晶圓的腐蝕治具。

背景技術

光學玻璃晶圓主要應用在精密的電子、數碼產品、儀器儀表及光學元件等領域，對晶圓的表面要求有極高的平面度、平行度、粗糙度以及打孔的精準度。

在玻璃晶圓的制造過程中，腐蝕工藝也是其中重要的一環。在腐蝕工藝中，需要對玻璃表面進行腐蝕或者對玻璃側邊面進行腐蝕。當對玻璃側邊面進行腐蝕時，玻璃在腐蝕槽中如何放置對腐蝕結果便起到了關鍵的作用。因此，玻璃腐蝕用治具的制造更顯尤為重要。

目前，公司從國外進口的治具成本較高，而且每臺治具一次只能放置一個產品，代價太高，而且該治具不夠通透，腐蝕液流通不暢，腐蝕效果并不理想。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型提出了一種玻璃晶圓腐蝕治具，該治具可同時腐蝕多枚產品、提高腐蝕速度和產品質量。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種玻璃晶圓腐蝕治具，包括正方形底板、正方形頂板、左側板、右側板和后側板，所述正方形底板和所述正方形頂板結構相同，中心均設有圓形通孔，所述正方形底板的邊緣與其上的圓形通孔邊緣距離為2-5cm；所述正方形頂板的上表面設有把手；所述左側板和右側板的寬度相同，均為正方形底板邊長的1/3-1/2；所述后側板的寬度為正方形底板邊長的1/4-1/3；所述左側板、右側板和后側板的厚度相同為H1，所述正方形底板和正方形頂板厚度相同為H2，2≤H1:H2≤5；所述左側板、右側板和后側板的內側均勻設有多個橫向貫穿的卡槽，所述卡槽與所述正方形底板平行，所述卡槽的截面為矩形，其高度為3-10mm。

優選的，所述左側板設置于正方形底板的左邊緣前部，所述左側板、所述正方形底板和所述正方形頂板的邊緣平齊，所述右側板對稱設置于另一側；所述后側板設于所述正方形底板后邊緣的中心。

優選的，H1:H2＝3。

優選的，所述卡槽的高度為8mm。

優選的，所述治具的材質為聚四氟乙烯。

優選的，所述腐蝕治具的前部設有可防止產品從卡槽中滑出的防滑部件。

本實用新型造價低，而且使用效果優于進口產品。

本實用新型與現有技術相比的優勢在于：

由原有的單枚產品腐蝕，變為多枚產品同時腐蝕，顯著提高產量，降低了生產成本。

同時，本腐蝕治具的結構盡量的簡化，底板和頂板上設有的圓形通孔，使腐蝕液對流加快；左側板、右側板和后側板的寬度在保證治具穩定性的同時盡量降低其寬度，增大了腐蝕液對流的程度，提高了腐蝕效果，加快了腐蝕速度。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1為本實用新型實施例1所公開的一種玻璃晶圓腐蝕治具的立體結構示意圖。

1.正方形底板??2.正方形頂板??3.左側板??4.右側板??5.后側板??6.圓形通孔??7.把手??8.卡槽

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。

實施例1.

如圖1所示，一種玻璃晶圓腐蝕治具，包括正方形底板1、正方形頂板2、左側板3、右側板4和后側板5，正方形底板和正方形頂板結構相同，中心均設有大的圓形通孔6，正方形底板的邊緣與其上的圓形通孔6邊緣距離為3cm(也可為2-5cm的其它數值)，這個寬度是為了方便鑲嵌后側板和治具整體的穩定性；

為了防止腐蝕液沾到手上，正方形頂板的上表面設有把手7，便于拿取治具；

左側板3和右側板4的寬度相同，結構也相同，對稱設置，均為正方形底板邊長的1/3(還可以為1/3-1/2)；后側板的寬度為正方形底板邊長的1/4(也可為1/4-1/3)；這兩個寬度的限制是為了在保證治具穩定性的同時盡量給腐蝕液的對流留有充足的空間，提高腐蝕液流動性，提高腐蝕效果和腐蝕速度；

左側板、右側板和后側板的厚度相同均為H1，正方形底板和正方形頂板厚度相同為H2，H1:H2＝3(有效區間為2≤H1:H2≤5)；H1大于H2是為了方便設置卡槽，提高承載多個產品時的結構穩定度；

左側板、右側板和后側板的內側均勻設有多個橫向貫穿的卡槽8，卡槽與正方形底板平行，卡槽的截面為矩形，卡槽的高度為8mm(也可為3-10mm之間的其它數字，如5、6mm等)。