[實用新型]一種玻璃晶圓腐蝕治具

有效

• 申請號: 201420490953.6
• 申請日: 2014-08-29
• 公開（公告）號: CN204097334U
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 平尾誠
• 申請（專利權）人: 泰庫尼思科電子（蘇州）有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種玻璃晶圓腐蝕治具，其特征在于，包括正方形底板、正方形頂板、左側板、右側板和后側板，所述正方形底板和所述正方形頂板結構相同，中心均設有圓形通孔，所述正方形底板的邊緣與其上的圓形通孔邊緣距離為2-5cm；所述正方形頂板的上表面設有把手；所述左側板和右側板的寬度相同，均為正方形底板邊長的1/3-1/2；所述后側板的寬度為正方形底板邊長的1/4-1/3；所述左側板、右側板和后側板的厚度相同為H1，所述正方形底板和正方形頂板厚度相同為H2，2≤H1:H2≤5；所述左側板、右側板和后側板的內側均勻設有多個橫向貫穿的卡槽，所述卡槽與所述正方形底板平行，所述卡槽的截面為矩形，其高度為3-10mm。

2.根據權利要求1所述的一種玻璃晶圓腐蝕治具，其特征在于，所述左側板設置于正方形底板的左邊緣前部，所述左側板、所述正方形底板和所述正方形頂板的邊緣平齊，所述右側板對稱設置于另一側；所述后側板設于所述正方形底板后邊緣的中心。

3.根據權利要求1或2所述的一種玻璃晶圓腐蝕治具，其特征在于，H1:H2＝3。

4.根據權利要求3所述的一種玻璃晶圓腐蝕治具，其特征在于，所述卡槽的高度為8mm。

5.根據權利要求3所述的一種玻璃晶圓腐蝕治具，其特征在于，所述治具的材質為聚四氟乙烯。

6.根據權利要求4或5所述的一種玻璃晶圓腐蝕治具，其特征在于，所述腐蝕治具的前部設有可防止產品從卡槽中滑出的防滑部件。