[實用新型]一種高品質因子高共振頻率的帶針尖的微懸臂梁掃描器有效
| 申請號： | 201420478769.X | 申請日： | 2014-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN204008700U | 公開（公告）日： | 2014-12-10 |
| 發明（設計）人： | 智剛峰;李全鋒;王凱濤;張宗哲;宋曉玲 | 申請（專利權）人： | 河南師范大學 |
| 主分類號： | G01Q60/10 | 分類號： | G01Q60/10;G01Q60/16 |
| 代理公司： | 新鄉市平原專利有限責任公司 41107 | 代理人： | 路寬 |
| 地址： | 453007 河*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 品質 因子 共振頻率 針尖 懸臂梁 掃描器 | ||
【權利要求書】：
1.一種高品質因子高共振頻率的帶針尖的微懸臂梁掃描器，其特征在于包括微納加工工藝一體成型的微米級針尖和微懸臂梁，其中針尖位于微懸臂梁的窄面上且針尖的指向與該微懸臂梁窄面法線的夾角不大于45°，所述的針尖和微懸臂梁的材料均為單晶硅或單晶二氧化硅，在針尖和微懸臂梁上均鍍有鉑銥合金、黃金、鈷、鉻或鎳。
2.根據權利要求1所述的高品質因子高共振頻率的帶針尖的微懸臂梁掃描器，其特征在于：所述掃描器的共振頻率為0.1KHz-100MHz。
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