[實用新型]成像窗口

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420468643.4
• 申請日: 2014-08-19
• 公開（公告）號: CN204087839U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王晟
• 申請（專利權(quán)）人: 上海納騰儀器有限公司
• 主分類號: G21K7/00
• 分類號: G21K7/00
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責(zé)任公司 31203
• 代理人: 沈履君

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種用于同步輻射X射線(尤其在軟X射線)透射顯微成像，TEM、SEM、AFM、XPS、EDX的同一區(qū)域的交叉配對表征，特別是一種微孔超高分辨率多用途氮化硅膜成像窗口。

背景技術(shù)

X射線氮化硅膜窗口能夠?qū)崿F(xiàn)軟X-射線(如真空紫外線)的最大透射率。X-射線越軟(能量越低)，穿透能力越差，所需氮化硅膜窗口越薄。特別是在“離軸”狀態(tài)工作(即氮化硅膜與光束成一定角度)時，也需要較薄的氮化硅膜窗口，便于X射線更好的穿透。基于現(xiàn)在對光源的研究和生物樣品的成像，尤其在其他方面差異不大時，透射成像的清晰對比度的關(guān)鍵就在于，新的氮化硅膜必須對特殊軟X射線有較小的吸收，并且如何增強(qiáng)背景的對比度，實現(xiàn)清晰成像。

生物領(lǐng)域的很多樣品，在外界生長后的多次移植、溫度等很容易造成樣品的破損，很難進(jìn)行多重表征，如何實現(xiàn)生物樣品觀測并且不影響樣品自身，氮化硅窗口是否可以實現(xiàn)對生物樣品、納米粒子的生長、沉積是關(guān)鍵，這樣氮化硅窗口的親水性就有著很高的要求。當(dāng)窗口越多，視野也就越密，如何實現(xiàn)高透過率，保證應(yīng)力并且獲得較大的視野觀測范圍成為關(guān)鍵。之前的技術(shù)，由于氮化硅膜的厚度和應(yīng)力，盡管在一定程度上較老式的計量式或ST氮化硅膜穿透力和應(yīng)力較好，但在軟射線的透過率上還是需要改進(jìn)。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種可以實現(xiàn)納米粒子生長、沉積的成像窗口。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型成像窗口，包括：襯底，在所述襯底上鍍有氮化硅膜；所述氮化硅膜的形狀和尺寸與所述襯底的形狀和尺寸相同；通孔，多個所述通孔貫穿設(shè)置在所述氮化硅膜上；溝槽，所述溝槽設(shè)置在所述襯底上，所述溝槽貫穿所述襯底；其中所述溝槽為一倒置的正四棱臺空穴結(jié)構(gòu)，底面開口位于所述襯底上部、頂面開口位于所述襯底下部；所述溝槽的頂面的位置與多個所述通孔的位置相對應(yīng)。

所述通孔的直徑為5微米。所述通孔的數(shù)量為九個，九個所述通孔呈正方形均勻分布。九個所述通孔的間距為5微米。九個所述通孔排列成的正方形的尺寸為1毫米×1毫米。

所述溝槽底面的尺寸為1毫米×1毫米。

所述氮化硅膜及所述襯底的尺寸為10毫米×10毫米。所述氮化硅膜的厚度為50納米。所述襯底的厚度為500微米。所述襯底為(100)晶向的N型或P型單晶硅。

本實用新型成像窗口使創(chuàng)口具有高親水性，成為生物和濕細(xì)胞的理想承載體，可以實現(xiàn)TEM、SEM、AFM、XPS、EDX的同一區(qū)域的交叉配對表征。同時，在高透射率基礎(chǔ)上，獲得超大視野范圍。

附圖說明

圖1為本實用新型成像窗口結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型成像窗口剖視圖；

圖3為本實用新型成像窗口通孔結(jié)構(gòu)示意圖。

本實用新型成像窗口附圖中附圖標(biāo)記說明：

1-氮化硅膜?????2-通孔?????3-襯底

4-溝槽?????????5-底面?????6-頂面

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型成像窗口作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

如圖1～圖3所示，本實用新型成像窗口，包括(100)晶向的N型或P型單晶硅襯底3，其厚度為500微米。在襯底3上設(shè)有貫穿襯底3的溝槽4，溝槽4為一倒置的正四棱臺空穴結(jié)構(gòu)，底面5開口位于襯底3上部、頂面6開口位于襯底3下部。底面5的尺寸為1毫米×1毫米。

氮化硅膜1鍍在襯底3下部，在氮化硅膜1上設(shè)有九個貫穿氮化硅膜1的通孔2，通孔2的直徑為5微米、間距為5微米，通孔2呈正方形均勻分布，正方形的尺寸為1毫米×1毫米。而且正方形是與溝槽4的頂面6相對應(yīng)。多孔洞和薄膜間歇分布結(jié)構(gòu)有效增強(qiáng)對比度，成像更清晰，并且可以同時實現(xiàn)多個樣品的測量。

經(jīng)等離子處理的氮化硅膜1，使創(chuàng)口具有高親水性，成為生物和濕細(xì)胞的理想承載體，可以實現(xiàn)TEM、SEM、AFM、XPS、EDX的同一區(qū)域的交叉配對表征。而且，氮化硅膜1及襯底3的尺寸同為10毫米×10毫米，是在原先的基礎(chǔ)上將窗口的尺度縮小，以提高氮化硅膜1的應(yīng)力。同時，保證應(yīng)力的基礎(chǔ)上，減小氮化硅膜1鍍層的厚度，以獲得超大視野范圍。

本實用新型成像窗口使創(chuàng)口具有高親水性，成為生物和濕細(xì)胞的理想承載體，可以實現(xiàn)TEM、SEM、AFM、XPS、EDX的同一區(qū)域的交叉配對表征。同時，在高透射率基礎(chǔ)上，獲得超大視野范圍。

以上已對本實用新型創(chuàng)造的較佳實施例進(jìn)行了具體說明，但本實用新型創(chuàng)造并不限于所述實施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。