[實用新型]涂布裝置

有效

• 申請號: 201420400105.1
• 申請日: 2014-07-18
• 公開（公告）號: CN203955449U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 吳俊欣
• 申請（專利權）人: 萬潤科技股份有限公司
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/10;B05C13/02
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 徐偉

技術領域

本實用新型系有關于一種涂布裝置，尤指一種用于在一載盤上，對載盤上所置設用于承載芯片的基板(Substrate)進行涂布黏性材料的涂布裝置。

背景技術

一般晶圓經切割成一片片芯片時，每一片芯片必須經由置設于一基板(Substrate?Board)中進行封裝，才能使該芯片被使用；而現行將芯片置設于基板上的作業通常透過一載盤(Boat)來完成，使載盤提供多數個整齊排列的置放區間，以供各基板置于載盤各置放區間，然后再將基板上預定位置涂覆黏性材料，以供芯片置于基板上時可藉該黏性材料固定于基板預設的定位以進行下一制程。

一種先前技術在基板上預定位置涂覆黏性材料的裝置，采用在兩龍門下方設軌道，并使軌道上置設該載有基板的載盤，及于兩龍門間的上方共同架設一橫設的軌座，并在軌座上設內部容裝黏性材料的膠閥，藉由橫設的軌座可在兩龍門上作Y軸向位移，而膠閥可在軌座上作X軸向及Z軸向位移，來對下方軌道中載盤上基板進行涂布黏性材料的作業。

另一種先前技術在基板上預定位置涂覆黏性材料的裝置，為提高效率而采用在兩龍門下方設兩平行的第一、二導軌，以分別輸送二載盤，并在第一龍門上設第一導引軌道及第二導引軌道，以分別設置檢測單元及第一出料頭，及在第二龍門上設第三導引軌道以設置第二出料頭，使第一導軌上的載盤輸經第一龍門上第一導引軌道下方時受檢測單元檢測，再續輸送經第一龍門上第二導引軌道下方受第一出料頭涂布，然后再返回原第一龍門上第一導引軌道下方再受檢測單元檢測，以完成涂布作業；而第二導軌則與第一導鬼進行的程序及作業相同，但較第一導軌上的作業程序晚一步驟。

實用新型內容

先前技術采在兩龍門下方設兩平行的第一、二導軌以分別輸送二載盤者，其雖較在兩龍門下方設軌道，并使軌道上置設該載有基板的載盤，及于兩龍門間的上方共同架設一橫設的軌座者具有較高的涂布效率，但因其就單一載盤上的涂布作業而言，因載盤是在移動中被進行涂覆，因此出料頭的位移與載盤的位移構成更多的變動因素，對于涂布精度形成精確性的影響；再者，由于其采三個導引軌道來分別設置檢測單元、第一出料頭、第二出料頭的方式，使在第一出料頭、第二出料頭完成涂布的該載有基板的載盤必須進行一返回程序，而返回至第一導引軌道下方接受檢測單元的檢測，造成行程的浪費與下一載盤進入的延遲，對產出效率形成延怠！

于是，本實用新型的目的，在于提供一種使被輸送的載盤可有效率地在多個軌道上進行黏性材料涂布的涂布裝置。

本實用新型的另一目的，在于提供一種使各項操作集中于同一操作區間以便于操作管理的涂布裝置。

本實用新型的又一目的，在于提供一種使載盤在定位被進行黏性材料涂布以增加精確性的涂布裝置。

本實用新型的再一目的，在于提供一種使在黏性材料涂布過程中易于進行各項定位校正的涂布裝置。

本實用新型的又再一目的，在于提供二種使被輸送的載盤可有效率地在多個軌道上進行黏性材料涂布的涂布裝置。

本實用新型的又再一目的，在于提供一種使載盤在定位被進行黏性材料涂布以增加精確性的涂布裝置。

本實用新型的又再一目的，在于提供二種使操作裝置在進行黏性材料涂布時可避免碰撞的涂布裝置。

本實用新型的又再一目的，在于提供一種將載盤完成涂布黏性材料后輸送至收納盒收集的涂布裝置。

本實用新型的又再一目的，在于提供一種以有效率的載盤移載流路進行黏性材料涂布的涂布裝置。

依據本實用新型的目的的涂布裝置，包括：一主機臺，其上設置可供一載盤于其中作定位或作輸送位移第一軌道與第二軌道；其兩側分別設有可被驅動作位移的第一活動軌架的第一轉換機構及可被驅動作位移的第二活動軌架的第二轉換機構；在第一軌道、第二軌道上方設有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，所述第一軌道與第二軌道位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區間；第一龍門的第一懸臂上設有第一操作裝置，第二龍門的第二懸臂上設有第二操作裝置；所述載盤經由第一轉換機構的第一活動軌架而輸送至第一軌道或第二軌道受第一操作裝置及第二操作裝置進行黏性材料涂布，并于完成后，由第一軌道或第二軌道經第二轉換機構的第二活動軌架輸送移出者。