[實用新型]一種可視升降式單晶爐

有效

• 申請號: 201420361803.5
• 申請日: 2014-07-02
• 公開（公告）號: CN204058655U
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: 徐建
• 申請（專利權）人: 安徽旭特電子科技有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及單晶爐技術領域，尤其涉及一種可視升降式單晶爐。

背景技術

目前，隨著科學技術的發展，單晶爐因其人們使用的頻繁，所以人們對單晶爐的功能也有越來越高的要求，單晶爐是一種在惰性氣體環境中，用加熱器將多晶硅等材料融化，從而制造出生長無錯位的單晶硅設備，而目前市面上所使用的單晶爐，因其結構設計等問題，坩堝內充填硅料較少，而且在化料過程中，單晶爐內壁容易接觸材料液體，造成了爐體內的污染，從而使單晶爐使用壽命減小。

實用新型內容

為了克服上述現有技術的缺陷，本實用新型的目的是提供一種可視升降式單晶爐。

本實用新型是采取以下技術方案來實現的：一種可視升降式單晶爐，它包括石英坩堝、爐蓋、底座和加熱器，所述石英坩堝設置于爐體內，且石英坩堝底部設有堝托；所述爐蓋上方左右對稱位置設有一個凸起與爐蓋表面的觀察視窗；所述爐蓋中心位置設有籽晶桿通道；所述爐蓋籽晶桿側面設有進氣口；所述爐體內壁由內向外分別設置有加熱器、保溫罩和隔熱層；所述加熱層、保溫罩和隔熱層的上方設置有導氣孔；所述隔熱層與爐體內壁之間設有通道；所述爐體內壁下方兩側對稱設置有排氣孔；所述堝托下方連接支撐有堝桿；所述堝桿另一端與固定于底座上的液壓升降機構相連接；所述爐體與底座之間通過鋼質骨架連接固定；所述觀察視窗傾斜60度方向設置與爐蓋上表面；所述保溫罩為厚度8mm的碳纖維材料制成；所述加熱器為石墨加熱器。

綜上所述本實用新型具有以下有益效果：本實用新型單晶爐具有結構設計合理、操作簡單和使用壽命長等優點，所述單晶爐內設置的保溫罩其保溫性能好，避免晶硅因受熱不均而受到損害；所述爐蓋上方設置的觀察視窗能夠對爐內晶體生長進行及時的觀察，從而迅速的發現爐內的問題，提高了工作效率。

附圖說明

圖?1為本實用新型結構示意圖；

其中：1、波紋管；2、密封法蘭；3、觀察視窗；4、爐蓋上凸口；5、導氣孔；6、爐蓋；7、導流筒；8、加熱器；9、保溫罩；10、隔熱層；11、石英坩堝；12、通道；13、排氣孔；14、堝托；15、堝桿；16、液壓升降機構；17、底座；18、籽晶桿通道；19、進氣口；20、鋼質骨架。

具體實施方式

如圖1所示，一種可視升降式單晶爐，它包括石英坩堝11、爐蓋6、底座17和加熱器8，所述石英坩堝11設置于爐體內，且石英坩堝11底部設有堝托14；所述爐蓋6上方左右對稱位置設有一個凸起與爐蓋表面的觀察視窗3；所述爐蓋6中心位置設有籽晶桿通道18；所述爐蓋籽晶桿18側面設有進氣口19；所述爐體內壁由內向外分別設置有加熱器8、保溫罩9和隔熱層10；所述加熱層8、保溫罩9和隔熱層10的上方設置有導氣孔5；所述隔熱層10與爐體內壁之間設有通道12；所述爐體內壁下方兩側對稱設置有排氣孔13；所述堝托14下方連接支撐有堝桿15；所述堝桿15另一端與固定于底座上的液壓升降機構16相連接；所述爐體與底座17之間通過鋼質骨架20連接固定。

所述該裝置工作時，所述硅料置于坩堝11內，開通加熱器，使溫度升高，硅料開始熔化，所述爐蓋頂部對稱設置的觀察通道3可以及時發現爐體內的反應情況，一旦出現問題，可以迅速采取有效的解決辦法；所述爐體內壁設置的保溫罩9和隔熱層10，一方面可以有效的保持爐體內的溫度，避免爐內溫度下降過快；所述的隔熱層10可以保護爐壁不受高溫氣體的腐蝕；所述坩堝11下方設置的液壓升降機構16，可以對坩堝11的高度進行調節，并與觀察通道3相配合，通過對坩堝11高度的調節，增加坩堝11的空間，使石英坩堝11內裝入更多硅料，在化料的過程中，導流筒7與液面不會有接觸，使晶體生長有了更好的環境，提高了材料利用率；所述裝置在工作過程中，保護氣體通過爐蓋頂部設置的進氣口19進入爐體，經導流筒7進入坩堝11，從而帶走產生的一氧化硅揮發物，然后經由導氣孔5排出，通過爐體內壁的通道12流入到排氣孔13，排出有害氣體，該裝置能有效的提高工作效率。

以上所述是本實用新型實施例，故凡依本實用新型申請范圍所述的構造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本實用新型專利申請范圍內。