[實(shí)用新型]物件檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420358669.3
• 申請日: 2014-06-30
• 公開（公告）號(hào): CN203929672U
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳國慶;王國倫;林啟豐
• 申請（專利權(quán)）人: 萬潤科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/95
• 分類號(hào): G01N21/95;G01B11/30
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 徐偉

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型系有關(guān)于一種檢測裝置，尤指一種用以在具反射表面的物件上進(jìn)行檢測的物件檢測裝置。

背景技術(shù)

一般的電子組件由于體積微小，若發(fā)生瑕疵則檢查上相當(dāng)困難，因此在高科技產(chǎn)業(yè)中慣用CCD鏡頭來作檢測，一方面將瑕疵部位放大，另一方面藉由數(shù)字化的影像來檢測其瑕疵部位的確實(shí)位置，以進(jìn)行補(bǔ)救制程或淘汰程序。

一種以光柵配合CCD鏡頭進(jìn)行檢測瑕疵的裝置曾被采用，其主要利用光柵所產(chǎn)生的網(wǎng)格變形，透過CCD鏡頭來檢出瑕疵的部位確實(shí)位置，在晶圓晶粒的瑕疵檢測中亦曾采用此種檢測方式，其通常于特定光源及角度下，經(jīng)人工方式透過CCD鏡頭進(jìn)行觀察光柵因受瑕疵部位影響所產(chǎn)生的網(wǎng)格變形狀態(tài)，來檢出晶圓晶粒的瑕疵部位。

實(shí)用新型內(nèi)容

然而以光柵配合CCD鏡頭進(jìn)行檢測瑕疵固然為業(yè)界所慣用，惟先前技術(shù)在晶圓晶粒的瑕疵檢測中采用此種方式檢測常遭遇一些問題，因?yàn)榫A晶粒表面具有極亮的光澤，加上晶圓晶粒表面的平整度，使晶圓晶粒表面縱有瑕疵裂痕，在特定光源及角度下，晶圓晶粒表面光澤的反射，將使CCD鏡頭受到表面光澤反射光源的干擾，而不易檢測出瑕疵裂痕。

于是，本實(shí)用新型的目的，在于提供一種可依需要同時(shí)或切換不同檢測裝置對(duì)檢測物進(jìn)行瑕疵凹痕、裂痕檢測的物件檢測裝置。

本實(shí)用新型的另一目的，在于提供一種可對(duì)易受表面光澤反射光源干擾，而不易檢測出瑕疵凹痕、裂痕的檢測物進(jìn)行檢測的物件檢測裝置。

本實(shí)用新型的又一目的，在于提供一種可藉共用光路以不同檢測裝置對(duì)檢測物進(jìn)行瑕疵凹痕、裂痕檢測的物件檢測裝置。

本實(shí)用新型的再一目的，在于提供一種可依需要同時(shí)或切換或不同檢測裝置對(duì)檢測物進(jìn)行瑕疵凹痕、裂痕檢測的物件檢測裝置。

本實(shí)用新型的又再一目的，在于提供一種可對(duì)易受表面光澤反射光源干擾，而不易檢測出瑕疵凹痕、裂痕的檢測物進(jìn)行檢測的物件檢測裝置。

依據(jù)本實(shí)用新型目的的物件檢測裝置，包括：一第一檢測裝置及一第二檢測裝置，二者各具有不同焦距而分別擷取檢測物表面影像，其中，第二檢測裝置擷取檢測物表面影像中光柵網(wǎng)格變化者。

依據(jù)本實(shí)用新型另一目的的物件檢測裝置，包括：一具網(wǎng)格的光柵，經(jīng)一第一光源投射于檢測物表面；一第二檢測裝置，經(jīng)一第一分光鏡的折射擷取檢測物表面具網(wǎng)格影像，由影像中光柵網(wǎng)格變化觀測檢測物的瑕疵凹痕、裂痕者。

依據(jù)本實(shí)用新型又一目的的物件檢測裝置，包括：一第二光源，投射檢測物表面，其反射形成一第一檢測光路；一具網(wǎng)格的光柵，經(jīng)一第一光源投射于檢測物表面形成一第二檢測光路；該第一檢測光路由一第一檢測裝置擷取檢測物表面的影像；該第二光路由一第二檢測裝置擷取檢測物表面具網(wǎng)格的影像。

依據(jù)本實(shí)用新型再一目的的物件檢測裝置，包括：一第一檢測裝置，用以擷取檢測物表面影像；一第一分光鏡，其設(shè)于第一檢測裝置與檢測物連成的軸向上；一第二檢測裝置，其對(duì)應(yīng)該第一分光鏡，以擷取第一分光鏡折射的檢測物表面影像；一第二分光鏡，設(shè)于第一檢測裝置與檢測物連成的軸向上，其設(shè)有具網(wǎng)格的光柵，一第一光源向光柵投射光源，使光柵上的網(wǎng)格經(jīng)第二分光鏡折射至檢測物表面；一第二光源，位于第二分光鏡與檢測物表面間，并設(shè)于第一檢測裝置與檢測物連成的垂直軸向上。

依據(jù)本實(shí)用新型又再一目的的物件檢測裝置，包括：一光柵，具有網(wǎng)格，并受一第一光源投射而將網(wǎng)格投射于一檢測物表面；一第二檢測裝置，其經(jīng)自一第一分光鏡的折射，而擷取該檢測物表面反射的具網(wǎng)格的檢測物表面影像。

本實(shí)用新型實(shí)施例的物件檢測裝置，其以具網(wǎng)格的光柵屏蔽置于第一光源前端，使其投射于檢測物的檢測面上，再藉由第二檢測裝置的CCD鏡頭架構(gòu)正確的焦距，清楚觀測檢測物表面網(wǎng)格變化，并標(biāo)示瑕疵位置以屏幕用圖像顯示；其于檢測物原第一檢測裝置的CCD鏡頭檢測項(xiàng)目所需光學(xué)機(jī)構(gòu)上，再架構(gòu)第二組具部份同光路的感測系統(tǒng)，以同時(shí)取得不受光源反射干擾而清楚表現(xiàn)檢測物表面細(xì)微瑕疵裂痕的網(wǎng)格影像，用戶不僅可以第一檢測裝置觀測檢測物表面影像，亦可同時(shí)或切換以第二檢測裝置作排除光源反射干擾的表面細(xì)微瑕疵凹痕、裂痕檢查，不僅可提升檢測速度，亦可達(dá)到精確檢測的目的。

附圖說明

圖1系本實(shí)用新型實(shí)施例的機(jī)構(gòu)配置示意圖。

圖2系本實(shí)用新型實(shí)施例中第一檢測光路的形成路徑示意圖。

圖3系本實(shí)用新型實(shí)施例中第二檢測光路的形成路徑示意圖。

圖4系本實(shí)用新型實(shí)施例中光柵的網(wǎng)格示意圖。

圖5系本實(shí)用新型實(shí)施例中光柵的網(wǎng)格出現(xiàn)變形的示意圖。