[實(shí)用新型]臥式爐爐管和臥式爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420342521.0
• 申請(qǐng)日: 2014-06-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203950787U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝石斌;陳春河
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北大方正集團(tuán)有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;C30B31/06;C30B31/10
• 代理公司: 北京友聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11343
• 代理人: 尚志峰;汪海屏

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及臥式爐技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種臥式爐爐管和一種臥式爐。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的制造流程中，需要使用臥式爐爐管在高溫環(huán)境下對(duì)硅晶片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化或低壓化學(xué)氣相沉積的處理。而三氯氧磷淀積是半導(dǎo)體制造過(guò)程中常用的摻雜工藝，其工藝原理主要是通高純氮?dú)鈹y帶POCL₃(三氯氧磷)進(jìn)入爐管，在高溫下POCL₃分解，同時(shí)通入一定量的氧氣與分解產(chǎn)物PCL₅(五氯化磷)進(jìn)行反應(yīng)，以改善硅片的表面質(zhì)量，反應(yīng)產(chǎn)物P₂O₅(無(wú)氧化磷)與硅片表面接觸并與硅原子發(fā)生還原反應(yīng)，生成P(磷)原子和SIO₂(二氧化硅)，P原子在高溫下擴(kuò)散進(jìn)入硅片內(nèi)部，以實(shí)現(xiàn)摻P的工藝。

但制程產(chǎn)物磷酸具有粘附性，在產(chǎn)品出爐時(shí)，磷酸會(huì)使石英門(mén)與爐管腔體粘附在一起，在水平硬力的作用下，會(huì)導(dǎo)致支撐石英門(mén)的石英桿掉落損壞，影響了安全生產(chǎn)，也會(huì)由于損壞石英桿及石英門(mén)而增加生產(chǎn)成本。如圖1A所示，在產(chǎn)品出爐時(shí)，石英門(mén)104與爐管腔體(圖中未示出)粘附在一起，若施加水平硬力，會(huì)導(dǎo)致石英桿102脫落損壞，其中石英桿102的結(jié)構(gòu)示意圖如圖1B所示。

因此，如何避免在臥式爐工藝產(chǎn)品出爐時(shí)，石英桿與石英門(mén)脫落損壞成為亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型正是基于上述技術(shù)問(wèn)題至少之一，提出了一種新的臥式爐爐管，可以在LOAD端水平拉出方向上對(duì)石英桿施加拉力，避免在將LOAD端從爐管腔體內(nèi)拉出時(shí)，由于制程產(chǎn)物的粘附性使石英桿受與LOAD端運(yùn)動(dòng)方向相反的水平拉力作用而脫落損壞石英桿和石英門(mén)，降低了生產(chǎn)成本。

有鑒于此，根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提出了一種臥式爐爐管，包括：爐管腔體；LOAD端，用于盛放待送入所述爐管腔體內(nèi)的產(chǎn)品，并可在外力的作用下將所述產(chǎn)品推入或拉出所述爐管腔體；石英門(mén)，設(shè)置在所述LOAD端上，用于在所述LOAD端將所述產(chǎn)品推入所述爐管腔體內(nèi)時(shí)，隨所述LOAD端進(jìn)入所述爐管腔體，并堵塞所述爐管腔體的開(kāi)口；固定底座，設(shè)置在所述LOAD端上，所述固定底座與所述石英門(mén)通過(guò)石英桿相連，以對(duì)所述石英門(mén)進(jìn)行固定；擋板，設(shè)置在所述LOAD端上，且設(shè)置所述固定底座與所述石英門(mén)之間，用于在所述LOAD端將所述產(chǎn)品推入所述爐管腔體內(nèi)時(shí)，在所述爐管腔體外堵塞所述爐管腔體的開(kāi)口；連接件，用于連接所述石英桿與所述擋板。

在該技術(shù)方案中，由于在臥式爐的生產(chǎn)過(guò)程中，石英門(mén)會(huì)與爐管腔體粘附在一起，例如在三氯氧磷淀積的工藝中，制程產(chǎn)物磷酸具有粘附性，會(huì)將石英門(mén)與爐管腔體粘附在一起，則會(huì)在LOAD端將產(chǎn)品從爐管腔體內(nèi)拉出時(shí)，造成支撐石英門(mén)的石英桿掉落損壞，因此通過(guò)使用連接件連接石英桿與擋板，可以在LOAD端拉出方向上對(duì)石英桿施加拉力，避免在將LOAD端從爐管腔體內(nèi)拉出時(shí)，由于制程產(chǎn)物的粘附性使石英桿受與LOAD端運(yùn)動(dòng)方向相反的水平拉力作用而脫落損壞石英桿和石英門(mén)，降低了生產(chǎn)成本。其中，石英門(mén)與擋板都起到堵塞爐管腔體開(kāi)口的作用，但是石英門(mén)是進(jìn)入爐管腔體內(nèi)堵塞爐管腔體開(kāi)口，而擋板是在爐管腔體外部堵塞爐管腔體開(kāi)口。優(yōu)選地，石英門(mén)設(shè)置在LOAD端的槳上。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述連接件為鋼絲。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述石英桿上設(shè)置有凸起，所述鋼絲連接在所述凸起與所述擋板之間。

在該技術(shù)方案中，通常情況下石英桿為圓柱體結(jié)構(gòu)，因此通過(guò)在石英桿上設(shè)置凸起，能夠更加方便地將鋼絲系在石英桿上。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述凸起上設(shè)置有至少一個(gè)連接孔，所述鋼絲通過(guò)所述連接孔與所述凸起相連。

在該技術(shù)方案中，通過(guò)在凸起上設(shè)置連接孔，能夠更加牢固地將鋼絲系在石英桿上，防止滑落。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述凸起為圍繞所述石英桿設(shè)置的圓柱體。

在該技術(shù)方案中，優(yōu)選地，可以在圓柱體凸起上設(shè)置多個(gè)連接孔，且多個(gè)連接孔分布在不同方向上，以使鋼絲通過(guò)多個(gè)連接孔連接凸起與擋板時(shí)，石英桿在各個(gè)方向上受力均勻。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述圓柱體的直徑為1.6厘米，所述圓柱體的高度為0.7厘米。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述凸起設(shè)置在所述石英門(mén)與所述擋板之間的石英桿上。

在該技術(shù)方案中，由于在POCL3爐管中石英門(mén)通常會(huì)與爐管腔體粘附在一起，因此通過(guò)在凸起設(shè)置在石英門(mén)與擋板之間的石英桿上，能夠提供石英桿對(duì)石英門(mén)的拉力。