[發明專利]含可光機械加工層的熔合拉制的玻璃層疊結構的機械加工

有效

• 申請號: 201810053779.1
• 申請日: 2014-02-26
• 公開（公告）號: CN108046614B
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: H·D·伯克;G·B·庫克;V·A·愛德華茲;M·O·韋勒
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: C03C23/00
• 分類號: C03C23/00;C03B17/02;C03B17/06;C03C21/00;C03C3/095;C03C3/091;G03F7/38;G03F7/004
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 項丹

可以對具有插入到第一包覆層和第二包覆層之間的芯層的熔合拉制的玻璃層疊進行對玻璃結構進行機械加工的方法。芯層可由具有芯光敏性的芯玻璃組合物形成，第一包覆層可由具有不同于所述芯光敏性的光敏性的玻璃組合物形成，第二包覆層可由具有不同于所述芯光敏性的光敏性的玻璃組合物形成。芯層、第一包覆層和第二包覆層中的至少一個是可光機械加工層。方法可包括將熔合拉制層疊體中的可光機械加工層的選定區域暴露于紫外輻射；對玻璃結構進行加熱直至該選定區域結晶；以及從可光機械加工層選擇性地去除結晶材料。

本發明專利申請是國際申請號為PCT/US2014/018496，國際申請日為2014年2月26日，進入中國國家階段的申請號為201480023911.4，發明名稱為“含可光機械加工層的熔合拉制的玻璃層疊結構的機械加工”的發明專利申請的分案申請。

本申請要求2013年3月13日提交的美國申請系列第13/798479號以及2013年2月28日提交的美國臨時申請系列第61/770454號的優先權，本文以其為基礎并將其全文通過引用結合于此。

技術領域

本發明一般地涉及熔合拉制的玻璃層疊結構，更具體地，涉及對包含至少一層可光機械加工(photomachinable)層的熔合拉制的玻璃層疊結構進行機械加工的方法。

背景技術

熔合拉制的芯-包覆玻璃層疊體在電子領域和光學工業領域具有許多用途。形成通過層疊體的結構(例如孔和通孔)會是困難且不精確的，特別是采用諸如激光鉆孔之類的技術。因此，對于具有適于產生簡單和復雜結構(包括但不限于孔和通孔)的性質的熔合拉制的芯-包覆玻璃層疊體存在持續需求，還對于將結構機械加工成熔合拉制的芯-包覆玻璃層疊體的方法存在持續需求。

發明內容

根據各個實施方式，揭示了對玻璃結構進行機械加工的方法。根據各個實施方式的方法可用于如下玻璃結構，包括但不限于，熔合拉制的層疊體，其具有插入第一包覆層和第二包覆層之間的芯層。在熔合拉制的層疊體中，芯層可由具有芯光敏性的芯玻璃組合物形成，第一包覆層可由具有第一包覆光敏性的第一包覆玻璃組合物形成，所述第一包覆光敏性不同于所述芯光敏性，以及第二包覆層可由具有第二包覆光敏性的第二包覆玻璃組合物形成，所述第二包覆光敏性不同于所述芯光敏性。芯層、第一包覆層和第二包覆層中的至少一個是可光機械加工層。方法可包括將熔合拉制的層疊體中的至少一層可光機械加工層的至少一個選定區域暴露于紫外輻射，持續一段預定的暴露時間；對玻璃結構進行加熱，直至所述至少一個選定區域在可光機械加工層中形成結晶材料的結晶區域；以及選擇性地從可光機械加工層去除結晶區域。

在以下的詳細描述中提出了本文中描述的實施方式的其他特征和優點，其中的部分特征和優點對本領域的技術人員而言，根據所作描述就容易看出，或者通過實施包括以下詳細描述、權利要求書以及附圖在內的本文所述的本發明而被認識。

應理解的是，前面的一般性描述和以下的詳細描述介紹了各種實施方式，用來提供理解要求保護的主題的性質和特性的總體評述或框架。包括的附圖提供了對各種實施方式的進一步的理解，附圖被結合在本說明書中并構成說明書的一部分。附圖以圖示形式說明了本文所述的各種實施方式，并與說明書一起用來解釋要求保護的主題的原理和操作。

附圖說明

圖1示意性顯示根據本文所示和所述的一個或多個實施方式的玻璃結構的截面圖；

圖2示意性顯示用于制造圖1的玻璃結構的熔合拉制法；

圖3A-3D示意性顯示用于對圖1的玻璃結構進行機械加工的方法的實施方式；

圖4A-4B示意性顯示在圖3D的玻璃結構上執行的額外的機械加工步驟的實施方式；