[實用新型]一種方便拆裝硅烷法CVD爐銅電極的工具有效
| 申請號： | 201420273977.6 | 申請日： | 2014-05-27 |
| 公開（公告）號： | CN203878211U | 公開（公告）日： | 2014-10-15 |
| 發明（設計）人： | 陳德偉;柴崗元;蔣國城 | 申請（專利權）人： | 浙江中寧硅業有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/50 | 分類號： | C23C16/50 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 張法高 |
| 地址： | 324000 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 方便 拆裝 硅烷 cvd 電極 工具 | ||
【權利要求書】：
1.一種方便拆裝硅烷法CVD爐銅電極的工具，其特征包括手柄（1）、防撞固定架（2）、防滑桿身（3）、圓柱形連接頭（4）；防滑桿身（3）穿過防撞固定架（2），防滑桿身（3）上端與手柄（1）相連，下端與圓柱形連接頭（4）相連，圓柱形連接頭（4）下部中空，帶有內螺紋可與銅電極的上端螺紋配合。
2.根據權利要求1所述的一種方便拆裝硅烷法CVD爐銅電極的工具，其特征在于所述的防撞固定架（2）在取銅電極的過程中可以固定在油夾套中間位置，防止油夾套內壁及銅電極的意外碰撞損傷。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
