[實用新型]一種可拆卸式手動硅片上下料裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420269234.1 | 申請日： | 2014-05-26 |
| 公開（公告）號： | CN203938750U | 公開（公告）日： | 2014-11-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 苗利剛;李海濤;吳躍峰 | 申請（專利權(quán)）人： | 洛陽單晶硅有限責(zé)任公司 |
| 主分類號： | C30B25/02 | 分類號： | C30B25/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 洛陽明律專利代理事務(wù)所 41118 | 代理人： | 盧洪方 |
| 地址： | 471009 河*** | 國省代碼： | 河南;41 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 可拆卸 手動 硅片 上下 裝置 | ||
1.一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其特征是：可拆卸式手動硅片上下料裝置主要由支撐三腳架（1）、支撐桿（2）、支撐臂（3）、片盒槽（4）、止動螺絲（5）、插銷（6）、墊片（7）、內(nèi)六角螺絲（8）、止動螺母（9）、圓?頭銷釘（10）構(gòu)成；其中，兩個支撐三角架（1）用內(nèi)六角螺絲（8）和墊片（7）固定在凈化工作臺支撐支架（12）上；兩個支撐臂（3）與支撐三角架（1）采用止動螺絲（5）和止動螺母（9）連接在一起，支撐臂（3）可以旋轉(zhuǎn)，用插銷（6）固定；兩根支撐桿（2）用圓頭銷釘（10）固定在支撐壁（3）上；片盒槽（4）底部設(shè)有凸臺（11），凸臺（11）卡放在兩個支撐桿（2）之上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其特征是：支撐桿（2）長度尺寸為1000mm～1500mm，兩根支撐桿（2）中心距為50mm～200mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其特征是：支撐臂（3）長度尺寸為450mm～700mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其特征是：片盒槽（4）上部槽口的長度、寬度、高度尺寸分別為160mm～500mm、100mm～200mm、50mm～200mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其特征是：片盒槽（4）底部卡槽的長度、寬度、高度尺寸分別為160mm～500mm、50mm～100mm、20～150mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其特征是：支撐桿（2）、支撐臂（3）采用不銹鋼方管制作。
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