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[實用新型]一種單晶爐熱場石墨電極及單晶爐有效

專利信息
申請號: 201420256095.9 申請日: 2014-05-19
公開(公告)號: CN203834050U 公開(公告)日: 2014-09-17
發明(設計)人: 白劍銘 申請(專利權)人: 英利能源(中國)有限公司
主分類號: C30B15/00 分類號: C30B15/00
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 魏曉波
地址: 071051 河*** 國省代碼: 河北;13
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 單晶爐熱場 石墨電極 單晶爐
【權利要求書】:

1.一種單晶爐熱場石墨電極,包括石墨電極本體,其特征在于,所述石墨電極本體的上部在外圓周設有徑向凸起的硅液遮擋部(6)。

2.根據權利要求1所述的單晶爐熱場石墨電極,其特征在于,所述硅液遮擋部(6)具有向下方傾斜的硅液導流斜面(7)。

3.根據權利要求2所述的單晶爐熱場石墨電極,其特征在于,所述硅液遮擋部(6)呈錐臺形,其錐底直徑大于石墨電極本體的直徑,其錐面形成所述硅液導流斜面(7)。

4.根據權利要求1至3任一項所述的單晶爐熱場石墨電極,其特征在于,所述石墨電極本體為分體式結構,包括上下對接的石墨電極上半體(41)和石墨電極下半體(42)。

5.根據權利要求4所述的單晶爐熱場石墨電極,其特征在于,所述石墨電極上半體(41)與石墨電極下半體(42)通過螺紋結構相對接。

6.根據權利要求5所述的單晶爐熱場石墨電極,其特征在于,所述石墨電極下半體(42)的頂部設有螺紋柱,所述石墨電極上半體(41)的底部設有與所述螺紋柱相配合的螺紋孔。

7.根據權利要求2或3所述的單晶爐熱場石墨電極,其特征在于,所述硅液導流斜面(7)上開設有硅液導流槽。

8.一種單晶爐,包括石英堝(1)、石墨堝(2)、加熱器(3)、石墨電極(4)及爐底板(5),其特征在于,所述石墨電極(4)為上述權利要求1至7任一項所述的單晶爐熱場石墨電極。

9.根據權利要求8所述的單晶爐,其特征在于,所述石墨電極(4)外圍設有石英護套(8)和石墨護套(9),所述硅液遮擋部(6)的直徑大于等于所述石墨護套(9)的直徑。

10.根據權利要求8或9所述的單晶爐,其特征在于,所述硅液遮擋部(6)的底部與所述石墨護套(9)的頂部相貼合或保持一定間距。

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