[實用新型]一種單晶爐熱場石墨電極及單晶爐有效
| 申請號: | 201420256095.9 | 申請日: | 2014-05-19 |
| 公開(公告)號: | CN203834050U | 公開(公告)日: | 2014-09-17 |
| 發明(設計)人: | 白劍銘 | 申請(專利權)人: | 英利能源(中國)有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏曉波 |
| 地址: | 071051 河*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶爐熱場 石墨電極 單晶爐 | ||
1.一種單晶爐熱場石墨電極,包括石墨電極本體,其特征在于,所述石墨電極本體的上部在外圓周設有徑向凸起的硅液遮擋部(6)。
2.根據權利要求1所述的單晶爐熱場石墨電極,其特征在于,所述硅液遮擋部(6)具有向下方傾斜的硅液導流斜面(7)。
3.根據權利要求2所述的單晶爐熱場石墨電極,其特征在于,所述硅液遮擋部(6)呈錐臺形,其錐底直徑大于石墨電極本體的直徑,其錐面形成所述硅液導流斜面(7)。
4.根據權利要求1至3任一項所述的單晶爐熱場石墨電極,其特征在于,所述石墨電極本體為分體式結構,包括上下對接的石墨電極上半體(41)和石墨電極下半體(42)。
5.根據權利要求4所述的單晶爐熱場石墨電極,其特征在于,所述石墨電極上半體(41)與石墨電極下半體(42)通過螺紋結構相對接。
6.根據權利要求5所述的單晶爐熱場石墨電極,其特征在于,所述石墨電極下半體(42)的頂部設有螺紋柱,所述石墨電極上半體(41)的底部設有與所述螺紋柱相配合的螺紋孔。
7.根據權利要求2或3所述的單晶爐熱場石墨電極,其特征在于,所述硅液導流斜面(7)上開設有硅液導流槽。
8.一種單晶爐,包括石英堝(1)、石墨堝(2)、加熱器(3)、石墨電極(4)及爐底板(5),其特征在于,所述石墨電極(4)為上述權利要求1至7任一項所述的單晶爐熱場石墨電極。
9.根據權利要求8所述的單晶爐,其特征在于,所述石墨電極(4)外圍設有石英護套(8)和石墨護套(9),所述硅液遮擋部(6)的直徑大于等于所述石墨護套(9)的直徑。
10.根據權利要求8或9所述的單晶爐,其特征在于,所述硅液遮擋部(6)的底部與所述石墨護套(9)的頂部相貼合或保持一定間距。
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