[實(shí)用新型]一種可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420236819.3
• 申請(qǐng)日: 2014-05-10
• 公開（公告）號(hào): CN203855643U
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蒲勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)沙市博壘德電子科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/46
• 分類號(hào): C23C16/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，包括爐體、位于爐體上方的發(fā)熱絲；所述爐體包括圓盤和位于圓盤周圍的圓環(huán)，其特征是所述圓環(huán)至少包括一個(gè)由扇形環(huán)組合而成的組合圓環(huán)；所述發(fā)熱絲相應(yīng)包括位于圓盤上方的圓盤發(fā)熱絲和位于扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，其特征是所述組合圓環(huán)包括兩個(gè)或兩個(gè)以上不同徑向?qū)挾鹊膬?nèi)外組合圓環(huán)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，其特征是所述圓盤發(fā)熱絲采用同心螺旋繞法，內(nèi)組合圓環(huán)的扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲采用同心螺旋扇形繞法，外組合圓環(huán)的扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲采用同心圓弧繞法。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，其特征是所述圓環(huán)還包括設(shè)在所述圓盤和內(nèi)組合圓環(huán)之間的整體圓環(huán)，所述發(fā)熱絲相應(yīng)包括設(shè)在整體圓環(huán)上方的整體圓環(huán)發(fā)熱絲，所述整體圓環(huán)發(fā)熱絲采用同心螺旋繞法。