[實用新型]一種復合結構材料的電流磁控濺射裝置

有效

• 申請號: 201420226922.X
• 申請日: 2014-05-05
• 公開（公告）號: CN203878205U
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 趙振杰;潘校齊;嵇曉鳳;阮建中
• 申請（專利權）人: 華東師范大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 上海麥其知識產權代理事務所(普通合伙) 31257
• 代理人: 董紅曼

1.一種復合結構材料的電流磁控濺射裝置，其特征在于，包括待鍍基片(1)、電源單元(2)、旋轉單元(3)、施鍍腔體(4)與靶材(5)；

所述待鍍基片(1)安裝在所述旋轉單元(3)上，所述待鍍基片(1)設置在所述施鍍腔體(4)的內部；

所述靶材(5)設置在所述施鍍腔體(4)的內部，并正對于所述待鍍基片(1)；

所述電源單元(2)與所述待鍍基片(1)的兩端電氣連接。

2.如權利要求1所述的復合結構材料的電流磁控濺射裝置，其特征在于，所述電源單元(2)包括電源部件(21)、負載部件(22)、第一電刷部件(23)與第二電刷部件(24)；

所述第一電刷部件(23)與所述第二電刷部件(24)分別與所述待鍍基片(1)的兩端電氣連接；所述電源部件(21)、所述負載部件(22)、所述第一電刷部件(23)、所述待鍍基片(1)與所述第二電刷部件(24)串聯連接形成電流通路。

3.如權利要求2所述的復合結構材料的電流磁控濺射裝置，其特征在于，所述第一電刷部件(23)包括第一絕緣支承部(231)、第一電刷(232)與第一導電部(233)；

所述第一絕緣支承部(231)固定在施鍍腔體(4)內；

所述第一電刷(232)的一端與所述第一絕緣支承部(231)固定，另一端與所述第一導電部(233)電氣接觸；

所述第一導電部(233)與所述待鍍基片(1)連接。

4.如權利要求3所述的復合結構材料的電流磁控濺射裝置，其特征在于，所述第一導電部(233)設置在所述旋轉單元(3)上，所述第一導電部(233)與所述旋轉單元(3)之間設置有絕緣管。

5.如權利要求2所述的復合結構材料的電流磁控濺射裝置，其特征在于，所述第二電刷部件(24)包括第二絕緣支承部(241)、第二電刷(242)與第二導電部(243)；

所述第二絕緣支承部(241)固定在施鍍腔體(4)內；

所述第二電刷(242)的一端與所述第二絕緣支承部(241)固定，另一端與所述第二導電部(243)電氣接觸；

所述第二導電部(243)與所述待鍍基片(1)連接。

6.如權利要求5所述的復合結構材料的電流磁控濺射裝置，其特征在于，所述第二導電部(243)設置在所述旋轉單元(3)上，所述第二導電部(243)與所述旋轉單元(3)之間設置有絕緣管。

7.如權利要求1所述的復合結構材料的電流磁控濺射裝置，其特征在于，所述旋轉單元(3)包括電機部件(31)與傳動部件(32)；所述待鍍基片(1)安裝在所述傳動部件(32)中，所述電機部件(31)與所述傳動部件(32)的一端連接。

8.如權利要求7所述的復合結構材料的電流磁控濺射裝置，其特征在于，所述傳動部件(32)包括第一傳動桿(321)、第二傳動桿(322)與旋轉支架(323)；所述第一傳動桿(321)與所述電機部件(31)連接，所述旋轉支架(323)連接所述第一傳動桿(321)與所述第二傳動桿(322)。

9.如權利要求8所述的復合結構材料的電流磁控濺射裝置，其特征在于，進一步包括：所述第二傳動桿(322)可旋轉地設置在支撐桿(7)上，所述支撐桿(7)的底部與所述施鍍腔體(4)的底部固定。