[實用新型]一種蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201420222130.5
• 申請日: 2014-04-30
• 公開（公告）號: CN203807547U
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 馬利飛;張鵬
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本實用新型涉及顯示技術領域的制造設備，尤其涉及一種蒸鍍裝置。

背景技術

有機發光二極管(Organic?Light?Emitting?Diode，簡稱OLED)是一種有機薄膜電致發光器件，其具有易形成柔性結構、視角寬等優點；因此，利用有機發光二極管的顯示技術已成為一種重要的顯示技術。

OLED的全彩顯示一般包括R(紅)G(綠)B(藍)子像素獨立發光、或白光OLED結合彩色濾光膜等方式。其中，RGB子像素獨立發光是目前采用最多的彩色模式，其是利用子像素單元中的有機發光材料獨立發光。

目前，有機發光材料層一般都是通過對有機材料進行真空蒸發鍍膜形成。其中，對于RGB子像素獨立發光的OLED，由于每個RGB子像素單元采用不同的有機發光材料，因而RGB子像素單元的有機發光層需要分別進行蒸鍍，在此過程中一般采用金屬掩模板，使其開口區域與子像素區域對準來在不同子像素區域蒸鍍不同顏色的發光材料。

然而，由于金屬掩模板比較薄，一般只有幾十微米厚，很容易發生形變，因而在實際使用中不可避免的會導致其與待蒸鍍基板貼合的不緊，從而使得在蒸鍍有機發光材料時，不能形成正確的圖案。

實用新型內容

本實用新型的實施例提供一種蒸鍍裝置，可使金屬掩模板與待蒸鍍基板緊密貼合，從而在子像素單元蒸鍍時形成正確的圖案；在此基礎上，可使作用于金屬掩膜板的磁場均勻，避免由于磁場不均而對上述圖案造成影響。

為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術方案：

本實用新型實施例提供了一種蒸鍍裝置，包括：蒸鍍腔室、設置于蒸鍍腔室內的蒸鍍源、掩模板支撐架和基板支撐架，所述掩模板支撐架用于承載金屬掩模板，所述基板支撐架用于承載待蒸鍍基板，且所述金屬掩模板設置于所述蒸鍍源和所述待蒸鍍基板之間；所述蒸鍍裝置還包括：設置于所述蒸鍍腔室內的吸附裝置；

其中，所述吸附裝置包括：設置于所述待蒸鍍基板遠離所述金屬掩模板一側的多個呈矩陣排列的磁塊，以及用于調節每個所述磁塊相對所述待蒸鍍基板上下移動的牽引裝置。

可選的，所述牽引裝置包括設置于所述磁塊上方、且與所述磁塊一一對應的多個調節棒；其中，一個所述調節棒與對應的一個所述磁塊連接，用于帶動所述磁塊上下移動。

進一步可選的，所述調節棒的表面具有螺紋；所述磁塊相對所述調節棒的表面具有螺孔，所述螺孔與所述調節棒表面的螺紋相吻合。

進一步可選的，所述牽引裝置還包括固定所述調節棒的固定板；其中，所述固定板具有與所述調節棒對應個數的貫穿孔，且所述貫穿孔的表面具有兩個相對的凹槽；所述調節棒穿過所述貫穿孔，且在所述調節棒的高度方向上，所述調節棒的表面具有多對彈性凸起，每對凸起與位于所述貫穿孔表面的所述凹槽相匹配。

進一步可選的，所述固定板通過與固定在所述蒸鍍腔室上底面的升降機構連接，所述升降機構用于帶動所述固定板上下移動。

可選的，所述牽引裝置還包括控制任一個所述調節棒上下移動的控制器。

基于上述，可選的，所述蒸鍍裝置還包括設置于所述蒸鍍腔室側壁上的伸縮支撐架，所述伸縮支撐架沿垂直所述蒸鍍腔室側壁的方向伸縮。

進一步可選的，所述蒸鍍裝置還包括設置于所述蒸鍍腔室外側且與所述伸縮支撐架相連的驅動裝置；其中，所述驅動裝置用于控制所述伸縮支撐架的伸縮。

可選的，所述吸附裝置還包括用于承載所述磁塊的磁塊支撐板；

所述磁塊支撐板包括多個活動塊，任一個所述活動塊的表面積大于與所述活動塊接觸的所述磁塊的表面積；所述牽引裝置牽引多個任一個所述活動塊相對所述待蒸鍍基板上下移動。

進一步可選的，所述牽引裝置包括設置于每個所述活動塊四個角的牽引棒以及與所述牽引棒連接的控制裝置，用于帶動所述活動塊上下移動。

本實用新型實施例提供了一種蒸鍍裝置，包括：蒸鍍腔室、設置于蒸鍍腔室內的蒸鍍源、掩模板支撐架和基板支撐架，所述掩模板支撐架用于承載金屬掩模板，所述基板支撐架用于承載待蒸鍍基板，且所述金屬掩模板設置于所述蒸鍍源和所述待蒸鍍基板之間；所述蒸鍍裝置還包括：設置于所述蒸鍍腔室內的吸附裝置；其中，所述吸附裝置包括：設置于所述待蒸鍍基板遠離所述金屬掩模板一側的多個呈矩陣排列的磁塊，以及用于調節每個所述磁塊相對所述待蒸鍍基板上下移動的牽引裝置。