[實用新型]一種具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置

有效

• 申請號: 201420218798.2
• 申請日: 2014-04-30
• 公開（公告）號: CN203930328U
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 劉維軍;郭寶貴
• 申請（專利權）人: 遂寧市維海電子科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 成都金英專利代理事務所(普通合伙) 51218
• 代理人: 袁英

技術領域

本實用新型涉及一種具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置。

背景技術

在FPC板制造工藝中，主要有FPC板的清洗、印刷（烘烤）、曝光顯影、圖像電鍍極大工序。其中，在曝光顯影工序中有一道外層曝光的工序，該工序使用一種手動曝光機。該手動曝光機包括一個玻璃臺面，用以放置待曝光的FPC板，以及一個貼膜層，用以貼敷定位所述FPC板。玻璃臺面與貼敷膜層之間，還設有抽氣口，工作時，先將FPC板放置于所述玻璃臺面上，再將貼敷膜層貼敷在所述FPC板的表面，然后通過所述抽氣口抽氣，開啟光源，對待曝光的FPC板的下表面進行曝光。此裝置僅能完成FPC板的單面曝光，對于需要雙面曝光的FPC板需要進行兩次曝光操作，效率低，耗時長。

并且，目前使用的曝光機一般通過目測憑經驗估計腔體內的的真空度，誤差大，且無法控制腔體內的真空度，可能會引起真空度抽氣過度而導致玻璃蓋板爆裂，或者由于真空度太低，空氣殘留過多，造成曝光不良。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術的缺點，提供一種方便裝載、提高曝光效率的具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置。

本實用新型的目的通過以下技術方案來實現：一種具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置，它包括真空氣壓監控裝置、上層裝載框架、下層裝載框架、以及依次連接為一體的曝光箱和裝載箱，曝光箱和裝載箱上均設置有用于安裝上層裝載框架的上層水平導軌，曝光箱和裝載箱上均設置有用于安裝下層裝載框架的下層水平導軌，曝光箱位于上層水平導軌的上側和下層水平導軌的下側均設置有曝光光源，所述的上層裝載框架和下層裝載框架結構相同，上層裝載框架和下層裝載框架均包括上框架和下框架，上框架和下框架通過設置于后側面上的合頁連接為一體，上框架的底面上設置有上透光板，下框架的頂面上設置有容置上框架的凹槽，該凹槽的底面上設置有下透光板，下框架內部設置有抽真空通道，下框架位于上透光板和下透光板之間的部分上設置有抽真空氣孔，下框架上還設置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭，抽真空接頭通過抽真空通道與抽真空氣孔連通，所述的下框架的左右兩側均設置有水平凸棱，上層裝載框架的水平凸棱滑動安裝于曝光箱和裝載箱的上層水平導軌內，下層裝載框架的水平凸棱滑動安裝于曝光箱和裝載箱的上層水平導軌內，所述的真空氣壓監控裝置包括真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架的抽真空通道內，氣壓傳感器與控制器的輸入端連接，真空泵和電磁閥分別與控制器的輸出端連接。

所述的上層裝載框架和下層裝載框架的上框架的前端面上均安裝有把手。

所述的上層裝載框架和下層裝載框架的上框架的前端面設置有凸塊，下框架上設置有與凸塊相配合的缺口，凸塊的前端面與下框架的前端面相平齊，把手安裝于凸塊的前端面上。

本實用新型具有以下優點：本實用新型可以對薄板兩個表面貼附的感光膜同時進行曝光，從而提高了曝光效率，裝載框架的結構設計使得裝載裝置與曝光光源安裝結構為分體結構，裝載工作方便、容易進行。兩個平行設置的上層裝載框架和下層裝載框架能夠交替進行曝光，從而節省了取、裝料操作對曝光效率的影響，同樣提高了效率。通過設置真空氣壓監控裝置，從而能夠準確的檢測下透光板和上透光板之間的真空氣壓數據，確保曝光過程中下透光板和上透光板之間的真空氣壓數值，從而保證曝光質量；當抽真空達到要求的真空氣壓數值時，控制器會控制電磁閥關閉、控制真空泵停止工作，從而延長真空泵的使用壽命。

附圖說明

圖1 為本實用新型的結構示意圖

圖2 為本實用新型的裝載框架的俯視結構示意圖

圖3 為圖2沿A-A截面的剖視圖

圖4 為本實用新型的下框架的剖視結構示意圖

圖5 為本實用新型另一種工作狀態的結構示意圖

圖6 為本實用新型真空氣壓監控裝置的框圖

圖中，1-上層裝載框架，2-曝光箱，3-裝載箱，4-上層水平導軌A，5-上層水平導軌B，6-曝光光源，7-合頁，8-上透光板，9-凹槽，10-下透光板，11-抽真空氣孔，12-抽真空接頭，13-水平凸棱，14-把手，15-凸塊，16-缺口，17-上框架，18-下框架，19-下層裝載框架，20-下層水平導軌A，21-下層水平導軌B。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步的描述，本實用新型的保護范圍不局限于以下所述：