[實用新型]一種退火爐

有效

• 申請號: 201420210041.9
• 申請日: 2014-04-28
• 公開（公告）號: CN203820862U
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 李勇;李小建
• 申請（專利權）人: 四川晶劍電子材料有限公司
• 主分類號: C21D9/54
• 分類號: C21D9/54;C22F1/08
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 方強

技術領域

本實用新型涉及一種退火爐，尤其涉及半導體引線框架用銅卷退火時用到的退火爐。

背景技術

半導引線框架是指用于連接半導體集成塊內部芯片的接觸點和外部導線的薄板金屬框架，它的生產原料主要是銅卷。常規的半導體引線框架主要有兩種制作工藝，一種蝕刻法，一種是模具沖壓法。蝕刻法是用化學物質蝕刻掉材料的一部分而制成產品，多適用于小規模生產；模具沖壓法，是通過模具的沖壓力沖壓間歇傳送的薄板材料而制成，多適用于大規模生產。模具沖壓法一般有以下工藝步驟：制造出厚度和寬度符合要求的銅卷、用沖床沖壓銅卷成型半導體引線框架、對成型的半導體引線框架進行表面處理、對表面處理后的半導體引線框架切斷成型，最后進行檢片包裝。銅卷的制造是半導體引線框架生產的第一道工序，銅卷的制造主要有電解銅清洗、擠壓、軋制、退火、精軋和剪邊。而退火又是這幾道工序中非常重要的工序，其直接影響著后續工藝能否正常成型，影響半導體引線框架的成材率。

授權公告號為CN203095860U，授權公告日為2013年7月31日的中國實用新型專利公開了一種電退火爐，包括前端開口的退火爐殼體和鉸接于退火爐殼體開口端的爐蓋所構成的密閉腔體，其特征在于，它還包括陶瓷纖維層、加熱元件及熱電偶，所述陶瓷纖維層圍繞所述退火爐殼體的內壁設置，所述加熱元件設于所述退火爐殼體的底部及兩個側壁的陶瓷纖維層之上；所述熱電偶經退火爐殼體的上壁和上壁處的陶瓷纖維層貫穿至所述密閉腔體內。該結構簡單，通過在退火爐內加設陶瓷纖維層和熱電偶，達到了腔體內保溫及溫度監控的目的。從而提高了產品的合格率且使用方便。但是將該實用新型用于半導體引線框架銅卷退火時，由于銅卷比較薄，在放入退火爐體內時，放在爐體上層的銅卷由于自身的重力會將放在爐體下層的銅卷壓出卷邊和折疊邊，導致銅卷報廢；該實用新型的加熱元件位于爐體的四周，通過加熱元件的輻射作用將熱量輻射到需要退火的材料上，在對銅卷進行退火時，位于外圍的銅卷先受熱，然后才是位于中心的銅卷受熱，這樣就會出現受熱不均的缺陷銅卷退火效果較差，導致半導體引線框架的報廢率提高。

實用新型內容

為了克服現有退火爐用于半導體引線框架用銅卷退火時被壓出卷邊和折疊邊的缺陷，本實用新型提供了了一種退火爐，該退火爐將銅卷隔離開來，防止銅卷相互擠壓，從而有效克服了銅卷被壓出卷邊和折疊邊的缺陷。

一種退火爐，包括退火爐殼體、陶瓷纖維層和加熱元件，所述陶瓷纖維層設置在退火爐殼體的內壁，加熱元件設置在陶瓷纖維層上，其特征在于：所述退火爐殼體上設置有多個銅卷分隔裝置，該銅卷分隔裝置包括隔板和螺桿，在退火爐殼體和陶瓷纖維層上設置有螺紋孔，螺桿通過螺紋孔穿過退火爐殼體和陶瓷纖維層，螺桿一端位于退火爐殼體外部，另一端伸出陶瓷纖維層，隔板連接在螺桿伸出陶瓷纖維層的一端上。

隔板鉸接在螺桿上，在隔板與螺桿之間設置一個拉簧，拉簧的一端連接在螺桿上，另一端連接在隔板上。

所述銅卷分隔裝置為偶數個，兩兩對應設置在退火爐殼體上。

所述加熱元件包括中心加熱元件和周圍加熱元件，中心加熱元件位于退火爐殼體底部的陶瓷纖維層的中心位置，中心加熱元件垂直設置在位于退火爐殼體底部的陶瓷纖維層上，周圍加熱元件位于所述退火爐殼體底部和兩個側壁的陶瓷纖維層上，周圍加熱元件與中心加熱元件相互垂直設置。

中心加熱元件包括一根中心管、四根邊緣管和外殼，四根邊緣管圍繞中心管設置，中心管和邊緣管上均纏繞有電阻絲，電阻絲與中心管之間以及電阻絲與邊緣管之間用絕緣材料層隔開，中心發熱管和邊緣發熱管包覆于外殼內，外殼是用導熱材料制成的殼體。

導熱材料為鋁板，絕緣材料層為云母紙層或者保溫氈棉層。

所述周圍加熱元件包括由兩側退火爐管排和底部退火爐管排組成的退火管排，兩側退火爐管排位于退火爐殼體底部的陶瓷纖維層上，兩側退火爐管排位于退火爐殼體兩側壁的陶瓷纖維層上，兩側退火爐管排和底部退火爐管排外側包覆有導熱層，導熱層外側設置有穿有絕緣瓷珠的電阻絲。

導熱層為耐高溫鑄鐵板導熱層。

本實用新型具有以下優點：