[實用新型]一種磁場增強型線性大面積離子源

有效

• 申請號: 201420158107.4
• 申請日: 2014-04-01
• 公開（公告）號: CN204130495U
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 李福星;張世宏;莫申波;王啟民
• 申請（專利權）人: 南京迪奧賽真空科技有限公司
• 主分類號: H01J37/08
• 分類號: H01J37/08;H01J37/02
• 代理公司: 北京天平專利商標代理有限公司 11239
• 代理人: 王雅輝

1.一種磁場增強型線性大面積離子源，其特征在于，包括陰極頂板（1）、陰極框體（2）、環形陽極（3）、絕緣支柱（4）、條形磁鋼（5）、氣體電離室（6）和環形離子束引出口（7）；所述陰極頂板（1）設置于陰極框體（2）的頂部開口處，環形離子束引出口（7）開設在陰極頂板（1）上，環形陽極（3）固定在絕緣支柱（4）上，環形陽極（3）和絕緣支柱（4）位于陰極框體（2）內，絕緣支柱（4）的底部設置于陰極框體（2）上，環形離子束引出口（7）位于環形陽極（3）之上，環形離子束引出口（7）和環形陽極（3）形狀位置相匹配，氣體電離室（6）設置于環形陽極（3）上表面和環形離子束引出口（7）之間，條形磁鋼（5）設置于環形陽極（3）的環形開口內，條形磁鋼（5）、環形陽極（3）和陰極頂板（1）構成了環形放電槽；所述陰極框體（2）、環形陽極（3）、陰極頂板（1）上分別設有冷水管（8）；陰極框體（2）的底部開設通氣管道（9），所述通氣管道（9）設置于環形陽極（3）和條形磁鋼（5）之間。

2.根據權利要求1所述的一種磁場增強型線性大面積離子源，其特征在于，所述環形離子束引出口（7）的剖面包括倒梯形和長方形，倒梯形的短底邊和長方形連接，長方形位于環形陽極（3）的上表面之上；所述倒梯形的兩個斜邊相互垂直。

3.根據權利要求1所述的一種磁場增強型線性大面積離子源，其特征在于，位于環形離子束引出口（7）之內的陰極頂板（1）為陰極內環（11），位于環形離子束引出口（7）之外的陰極頂板（1）為陰極外環（12），陰極內環（11）上設有冷水管（8），陰極外環（12）與陰極框體（2）連接，陰極框體（2）內設有冷水管（8），環形陽極（3）的環體內設有冷水管（8）。

4.根據權利要求1所述的一種磁場增強型線性大面積離子源，其特征在于，所述氣體電離室（6）的高度為3～5mm。

5.根據權利要求1所述的一種磁場增強型線性大面積離子源，其特征在于，所述陰極框體（2）的內部開設多個沉孔（21），絕緣支柱（4）的底部嵌入在所述沉孔（21）內。

6.根據權利要求1所述的一種磁場增強型線性大面積離子源，其特征在于，所述陰極頂板（1）與陰極框體（2）通過螺栓（10）相連，環形陽極（3）和絕緣支柱（4）通過螺栓（10）相連。

7.根據權利要求1所述的一種磁場增強型線性大面積離子源，其特征在于，所述陰極框體（2）的底部設有氣體緩沖裝置，所述氣體緩沖裝置包括相互連接的一級緩沖室（22）和二級緩沖室（23），一級緩沖室（22）上設有一級進氣口（221）和一級出氣口（222），二級緩沖室（23）上設有二級進氣口（231）和二級出氣口（232），一級進氣口（221）位于一級緩沖室（22）的底部，一級出氣口（222）位于一級緩沖室（22）的頂部，一級出氣口（222）向緩沖室內凸起且位于一級進氣口（221）的兩側，二級進氣口（231）和一級出氣口（222）重合，二級進氣口（231）位于二級緩沖室（23）的底部，二級出氣口（232）位于二級緩沖室（23）的頂部，二級進氣口（231）位于二級出氣口（232）的兩側，二級出氣口（232）和陰極框體（2）的通氣管道（9）相連。

8.根據權利要求1所述的一種磁場增強型線性大面積離子源，其特征在于，所述條形磁鋼（5）為Nd-Fe-B永磁體。