[實(shí)用新型]吹掃裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420149062.4 | 申請日： | 2014-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN203774267U | 公開（公告）日： | 2014-08-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 樓豐瑞 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時(shí)云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 裝置 | ||
1.一種吹掃裝置，用于對設(shè)備機(jī)臺內(nèi)部進(jìn)行氣體吹掃，其特征在于，所述裝置包括至少一個(gè)導(dǎo)流模塊以及多個(gè)管路，其中，所述導(dǎo)流模塊與所述設(shè)備機(jī)臺相連通，所述管路一端連接導(dǎo)流模塊，另一端連接氣源。
2.如權(quán)利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述吹掃裝置還包括一壓力表，所述壓力表固定在所述管路上。
3.如權(quán)利要求2所述的吹掃裝置，其特征在于，所述吹掃裝置還包括一調(diào)壓閥，所述調(diào)壓閥固定在所述管路上。
4.如權(quán)利要求3所述的吹掃裝置，其特征在于，所述吹掃裝置還包括一手閥，所述手閥固定在所述管路上。
5.如權(quán)利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述導(dǎo)流模塊為2個(gè)，并通過所述管路相連通。
6.如權(quán)利要求5所述的吹掃裝置，其特征在于，所述導(dǎo)流模塊通過螺絲與所述設(shè)備機(jī)臺相連通。
7.如權(quán)利要求6所述的吹掃裝置，其特征在于，所述管路通過焊接方式與所述導(dǎo)流模塊相連通。
8.如權(quán)利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述管路與所述導(dǎo)流模塊相連的一端還設(shè)有均流板。
9.如權(quán)利要求8所述的吹掃裝置，其特征在于，所述均流板為圓形，并設(shè)有多個(gè)均勻排列的通孔。
10.如權(quán)利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述管路是直徑為1/2英寸的不銹鋼管路。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于中芯國際集成電路制造（北京）有限公司，未經(jīng)中芯國際集成電路制造（北京）有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201420149062.4/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：一種旋轉(zhuǎn)手臂的定位裝置
- 下一篇：一種多模塊管理的方法和裝置
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
