[實用新型]薄膜的制造設備

有效

• 申請號: 201420148256.2
• 申請日: 2014-03-28
• 公開（公告）號: CN203766039U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 伊藤和美;木村征克;小川祐二;廣幡大樹
• 申請（專利權）人: 宇部興產株式會社
• 主分類號: B29C71/02
• 分類號: B29C71/02;B29C31/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 謝順星;張晶

技術領域

本實用新型涉及一種進行薄膜的應力衰減（応力緩和）處理的薄膜的制造設備。

背景技術

聚酰亞胺薄膜具有高耐熱性、高電絕緣性，滿足使用上所需的剛性、耐熱性或電絕緣性。因此，廣泛用于電絕緣薄膜、隔熱薄膜、柔性電路板的基膜、太陽能電池基板等工業領域。

聚酰亞胺薄膜通過下述方法制造：將含有聚酰胺酸等的聚酰亞胺前驅體溶液流延到支持體上并干燥，形成自支撐膜，對自支撐膜進行加熱處理而制造。

此外，由于在加熱處理后的聚酰亞胺薄膜上殘留應力，因此進行應力衰減處理（退火處理）來緩和殘余應力，進行謀求提高對熱的尺寸穩定性。

例如，專利文獻1中公開了如下內容：在實際上無張力下，將聚酰亞胺薄膜以150℃以上且420℃以下加熱1秒以上且60小時以內后，進行冷卻處理直至室溫，從而制造改進了加熱收縮性的聚酰亞胺薄膜。

此外，專利文獻2中公開了如下內容：對聚酰亞胺薄膜在薄膜的長度方向上施加1～10kg/m的張力，同時利用熱風連續性地實施加熱處理后，實施冷卻處理，從而制造低收縮性聚酰亞胺薄膜。

此外，專利文獻3中公開了如下內容：對聚酰亞胺薄膜將薄膜的長度方向上的張力保持在1kg/m以上且10kg/m以下，并照射遠紅外線以短時間進行加熱處理后，實施冷卻處理，從而制造低收縮性聚酰亞胺薄膜。

此外，并不限于聚酰亞胺薄膜，為了緩和殘余應力，謀求提高對熱的尺寸穩定性，在各種薄膜上進行薄膜的應力衰減處理。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利公告平成5-87377號公報

專利文獻2：日本專利公開2000-72900號公報

專利文獻3：日本專利公開2000-72901號公報

實用新型內容

（一）要解決的技術問題

在應力衰減處理中，聚酰亞胺薄膜有時處于暴露在高于聚酰亞胺薄膜的玻璃化轉變溫度（以下將玻璃化轉變溫度標記為Tg）的溫度下而軟化的狀態。因此，聚酰亞胺薄膜在應力衰減裝置內輸送時，表面容易產生傷痕等。如果在聚酰亞胺薄膜上產生傷痕等，會導致產品不良，因此成品率降低。

因此，本實用新型的目的在于提供一種薄膜的制造設備，其能夠以良好的成品率制造對熱的尺寸穩定性優異的薄膜。

（二）技術方案

為了實現上述目的，本實用新型的薄膜的制造設備的特征在于，具有對薄膜進行應力衰減處理的應力衰減裝置，所述應力衰減裝置具備浮置輸送裝置，該浮置輸送裝置從氣體噴射孔對薄膜噴出加熱氣體，以非接觸狀態對薄膜進行加熱并輸送，所述浮置輸送裝置構成為：具備多個薄膜輸送導向器，所述多個薄膜輸送導向器具有設置有氣體噴射孔的凸曲面狀的薄膜輸送面，所述薄膜輸送導向器的凸曲面交替地在相反方向上排列，從所述氣體噴射孔對薄膜噴出加熱氣體，使薄膜交替地在相反方向上彎曲，以非接觸狀態輸送。

根據上述實用新型，通過使用具備多個薄膜輸送導向器的浮置輸送裝置，所述多個薄膜輸送導向器具有設置有氣體噴射孔的凸曲面狀的薄膜輸送面，將薄膜在非接觸下進行輸送，由此即使被加熱氣體加熱而使薄膜軟化，也能夠不產生傷痕等地進行輸送。

此外，如果薄膜軟化，薄膜的剛性下降，變得容易產生折皺，但在上述實用新型中，通過使薄膜交替地在相反方向上彎曲，以非接觸狀態輸送，同時對薄膜加熱，由于通過使其彎曲，基于形狀的剛性增大，因此能夠抑制折皺的產生。

優選地，在本實用新型的薄膜的制造設備中，所述浮置輸送裝置構成為：還具備壓薄膜裝置，該壓薄膜裝置與所述薄膜輸送導向器的薄膜輸送面相對，具有在與該薄膜輸送面之間以規定間隙配置的凹曲面，并在該凹曲面上設置有氣體噴射孔，利用從所述薄膜輸送導向器的氣體噴射孔噴出的加熱氣體和從所述壓薄膜裝置的氣體噴射孔噴出的加熱氣體，對薄膜的兩面噴吹加熱氣體來進行浮置輸送。

根據上述方式，通過利用從薄膜輸送導向器的氣體噴射孔噴出的加熱氣體和從壓薄膜裝置的氣體噴射孔噴出的加熱氣體對薄膜的兩面噴吹加熱氣體而進行浮置輸送，能夠更加良好地維持薄膜的平坦度，同時能夠迅速且均勻地對薄膜進行加熱。

優選地，在本實用新型的薄膜的制造設備中，所述多個薄膜輸送導向器構成為：能夠對從氣體噴射孔噴出的氣體的溫度進行單獨設定。

根據上述方式，通過改變從多個薄膜輸送導向器的氣體噴射孔噴出的加熱氣體的溫度，能夠根據所期望的溫度曲線進行應力衰減處理。