[實用新型]一種安全防護裝置

有效

• 申請號: 201420134100.9
• 申請日: 2014-03-24
• 公開（公告）號: CN204079384U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 白松;許青峰;孫新光;桂純欽
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B66F9/07
• 分類號: B66F9/07;B66F17/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 王宏婧

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，特別涉及一種安全防護裝置。

背景技術

由于半導體行業的特殊性，所涉及的設備利用率相當重要，設備的利用率關系到整條生產線的生產能力也就是直接影響到了公司的經濟效益，而產品以及人身的安全同樣極其重要。

自動存儲設備（Stocker）作為目前半導體工廠內很重要的一個組成部分，具有保存管理FOUP（存放晶體的盒子）、參與全廠自動化調度等功能，自動存儲設備（Stocker）的安全性和穩定性是FAB內整條生產線穩定高效的必要條件，因此減少自動存儲設備（Stocker）的故障率，保證自動存儲設備（Stocker）的穩定運行對于生產來說非常重要。

在現有自動存儲設備（Stocker）出現的故障中，因誤觸碰自動存儲設備（Stocker）的出貨口感應器（Sensor）或是提前拿取貨物而導致的報錯占了很大一部分比例，僅僅通過培訓警告并不能完全避免此故障發生。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供安全防護裝置，以解決因誤觸碰自動存儲設備（Stocker）的出貨口感應器或是提前拿取貨物而導致報錯的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種安全防護裝置，應用于自動存儲設備出貨口，包括：

信號控制系統，與所述自動存儲設備通信；

光幕發生及接收系統，與所述信號控制系統通信；

報警系統，與所述光幕發生及接收系統連接。

進一步的，在所述的安全防護裝置中，所述光幕發生及接收系統設置于所述自動存儲設備出貨口外側。

進一步的，在所述的安全防護裝置中，所述光幕發生及接收系統包括光幕發生器和光幕接收感應器，所述光幕發生器與所述信號控制系統連接，所述光幕接收感應器與所述報警系統連接，所述光幕發生器與所述光幕接收感應器相互感應。

進一步的，在所述的安全防護裝置中，所述報警系統是蜂鳴器。

進一步的，在所述的安全防護裝置中，還包括信號燈，設置于所述自動存儲設備出貨口。

進一步的，在所述的安全防護裝置中，所述信號控制系統的信號與所述自動存儲設備的信號串聯。

進一步的，在所述的安全防護裝置中，所述光幕發生及接收系統的信號與所述信號控制系統的信號串聯。

進一步的，在所述的安全防護裝置中，所述報警系統的信號與所述光幕發生及接收系統的信號串聯。

本實用新型提供的安全防護裝置，具有以下有益效果：本實用新型減少了自動存儲設備出貨口報錯的幾率，提高了自動存儲設備的利用率，同時也減少了對自動存儲設備出貨口的接貨人員及貨物的受損幾率。

附圖說明

圖1是本實用新型優選實施例的安全防護裝置示意圖；

圖2是本實用新型優選實施例的安全防護裝置工作流程圖。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的安全防護裝置作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

請參考圖1，其是本實用新型優選實施例的安全防護裝置的示意圖。如圖1所示，本實用新型提供一種安全防護裝置，應用于自動存儲設備（Stocker）出貨口，包括：信號控制系統10、光幕發生及接收系統（圖中未示出）和報警系統30；其中，

所述信號控制系統10，與所述自動存儲設備（Stocker）通信，所述信號控制系統10的信號與所述自動存儲設備（Stocker）的信號串聯，所述信號控制系統10接收所述自動存儲設備（Stocker）發出的信號；

所述光幕發生及接收系統，與所述信號控制系統10通信，所述光幕發生及接收系統的信號與所述信號控制系統10的信號串聯，所述光幕發生及接收系統接收所述信號控制系統10發出的信號；

在本實用新型一個優選的實施例中，所述光幕發生及接收系統設置于所述自動存儲設備（Stocker）出貨口外側。

在本實用新型另一優選的實施例中，所述光幕發生及接收系統包括光幕發生器201和光幕接收感應器202（光幕接收sensor），所述光幕發生器201與所述信號控制系統10連接，所述光幕接收感應器202與所述報警系統30連接，所述光幕發生器201與所述光幕接收感應器202相互感應。