[實用新型]一種安全狀態(tài)檢測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420125674.X
• 申請日: 2014-03-19
• 公開（公告）號: CN203774260U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發(fā)明（設計）人: 周琦;林保璋;計駿;林宗賢;袁洪;李廣寧
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種安全狀態(tài)檢測系統(tǒng)，用于檢測和監(jiān)控腔體和殘留氣體分析儀，所述腔體包括旋轉磁電機，所述殘留氣體分析儀包括聯(lián)機和下線指示燈，其特征在于，所述安全狀態(tài)檢測系統(tǒng)包括：

第一信號收集單元，連接在所述腔體上；所述第一信號收集單元包括用于收集所述旋轉磁電機轉速的數(shù)據(jù)收集器和用于通過監(jiān)控所述旋轉磁電機轉速，并將轉速轉換成第一脈沖信號的數(shù)據(jù)編碼器；所述數(shù)據(jù)編碼器與所述數(shù)據(jù)收集器連接；

第二信號收集單元，連接在所述殘留氣體分析儀上；所述第二信號收集單元包括用于檢測所述殘留氣體分析儀上聯(lián)機和下線指示燈顏色是否正常的顏色傳感器和用于采集所述殘留氣體分析儀通信端口輸出第二脈沖信號的信號采集器；所述顏色傳感器與所述信號采集器連接；

用于判斷所述腔體和殘留氣體分析儀是否聯(lián)機的信號處理單元，連接在所述第一信號收集單元和第二信號收集單元上。

2.根據(jù)權利要求1所述的安全狀態(tài)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述安全狀態(tài)檢測系統(tǒng)還包括連接在所述信號處理單元上的信號報警單元。

3.根據(jù)權利要求2所述的安全狀態(tài)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述信號報警單元包括用于當所述腔體下線時發(fā)出報警信號的第一報警模塊和用于當所述殘留氣體分析儀下線時發(fā)出報警信號的第二報警模塊。

4.根據(jù)權利要求1所述的安全狀態(tài)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述安全狀態(tài)檢測系統(tǒng)還包括分別用于給所述第一信號收集單元和第二信號收集單元供電的太陽能電池板，所述太陽能電池板分別連接在所述第一信號收集單元和第二信號收集單元上。

5.根據(jù)權利要求1所述的安全狀態(tài)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述數(shù)據(jù)收集器安裝在所述腔體的旋轉，所述數(shù)據(jù)編碼器安裝在所述旋轉磁電機上。

6.根據(jù)權利要求1所述的安全狀態(tài)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述顏色傳感器和信號采集器連接在所述殘留氣體分析儀上。

7.根據(jù)權利要求1所述的安全狀態(tài)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述數(shù)據(jù)編碼器為一圓盤，在所述圓盤中間設置有圓孔，在所述圓盤周圍有若干正方形薄片。

8.根據(jù)權利要求1所述的安全狀態(tài)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述圓盤材料為鋼板。