[實用新型]探針卡及測試機臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420109554.0
• 申請日: 2014-03-12
• 公開（公告）號: CN203849368U
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發(fā)明（設計）人: 張傳益;鄒俊杰
• 申請（專利權）人: 標準科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R31/02;G01R1/073
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 任巖

技術領域

本實用新型是有關于一種探針卡，特別是一種探針卡上具有斜接觸面設計的探針結構。

背景技術

近幾年來，隨著電子科技、網(wǎng)絡等相關技術的進步，以及全球電子市場消費水平的提升，個人計算機、多媒體、工作站、網(wǎng)絡、通信相關設備等電子產(chǎn)品的需求量激增，帶動整個世界半導體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展。

而由一硅晶圓制造成為一集成電路芯片(integrate?circuit?chip；Ic?chip)，需耗費多道的工藝，包括：產(chǎn)品設計(Ic?design)、晶圓制造(wafer?manufacture)、掩膜(Photo?mask)制造、工c封裝(Packaging)、測試(Testlng)、包裝(Assembly)，以及外圍的導線架制造(Lead—frame?manufacture)、連接器制造(Connector?manufacture)、電路板制造(Board?manufacture)等，此一結合緊密的工藝體是，形成現(xiàn)今高科技的結晶。

在各電子產(chǎn)品中，集成電路芯片(Chip)被視為其心臟樞紐，因此世界各電子廠對集成電路芯片采購標準也最為嚴苛。在半導體的工藝中，會先以導電性的探針對每一芯片上的錫球(S0lder?Ball)進行接觸，以進行導通檢查，并檢測不良品。

在目前的過程中，都是使用探針直到與芯片上的錫球接觸，以測試其電氣特性并引出芯片信號，再配合周邊測試儀器與軟件控制達到自動化量測的目的；而不合格的芯片會被標上記號并淘汰。

已知的探針結構應用時，由于探針開放端為一尖狀，因此當該探針在接觸芯片的錫球時，容易造成芯片或錫球的損壞，更嚴重的是會減損導電功率，影響測試數(shù)據(jù)的正確性。

實用新型內(nèi)容

為了解決上述所提到問題，本實用新型的一主要目的在于提供一種探針卡，能避免探針尖端直接接觸錫球。

依據(jù)上述目的，本實用新型提供一種探針卡，包含：一彈性薄膜板，具有一上表面及相對于上表面的一下表面，在彈性薄膜板上形成多個測試區(qū)，并于每一測試區(qū)上具有多個由彈性薄膜板的上表面貫穿至彈性薄膜板的下表面的貫穿孔；及多個金屬材質(zhì)，是填入每一測試區(qū)上的貫穿孔中，并于彈性薄膜板的上表面形成多個焊墊，于彈性薄膜板的下表面形成多個探針，且探針與金屬材質(zhì)為一體成型；其中，每一探針具有一斜接觸面。

其中該斜接觸面的斜角為15—30度。

其中該斜接觸面上進一步具有一弧狀平面。

其中該彈性薄膜板為一高分子材料。

其中該高分子材料為聚酰亞胺。

依據(jù)上述目的，本實用新型再提供一種測試機臺，是由一測試座及一探針卡所組成，測試座下方具有多個接點，且探針卡配置于測試座下方，其中探針卡的特征在于：探針卡，包含：一彈性薄膜板，具有一上表面及相對于上表面的一下表面，在彈性薄膜板上形成多個測試區(qū)，并于每一測試區(qū)上具有多個由彈性薄膜板的上表面貫穿至彈性薄膜板的下表面的貫穿孔；及多個金屬材質(zhì)，是填入每一測試區(qū)上的貫穿孔中，并于彈性薄膜板的上表面形成多個焊墊，并使焊墊與測試座的接點電性連接，于彈性薄膜板的下表面形成多個探針，且探針與金屬材質(zhì)為一體成型；其中，每一探針具有一斜接觸面。

其中該斜接觸面的斜角為1530度。

其中該斜接觸面上進一步具有一弧狀平面。

其中該彈性薄膜板為一高分子材料。

其中該高分子材料為聚酰亞胺。

本實用新型所提出的探針卡及測試機臺，以探針上的斜接觸面接觸錫球，能防止探針的尖端直接接觸錫球，造成對錫球的損害；同時，還可以通過斜接觸面的設計，使得探針可以大幅度的增加與錫球的接觸大面積，使得本實用新型的探針在進行測量，可以得到較佳的電性反應。

附圖說明

為使本實用新型的目的、技術特征及優(yōu)點，能更為相關技術領域人員所了解并得以實施本實用新型，在此配合所附附圖，于后續(xù)的說明書闡明本實用新型的技術特征與實施方式，并列舉較佳實施例進一步說明，然以下實施例說明并非用以限定本實用新型，且以下文中所對照的附圖，是表達與本實用新型特征有關的示意，其中：

圖1A為本實用新型的探針卡的彈性薄膜板的俯視圖。

圖1B為本實用新型的探針卡的彈性薄膜板的側視圖。

圖2A為本實用新型的探針第一實施例示意圖。

圖2B為本實用新型的探針第二實施例示意圖。

圖3A圖一圖3c為本實用新型的彈性薄膜板與待側物測試示意圖。