[實用新型]氫氟酸灌裝裝置

有效

• 申請號: 201420099074.0
• 申請日: 2014-03-05
• 公開（公告）號: CN203820431U
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 胡洪峰
• 申請（專利權）人: 宣城亨泰化工科技有限公司
• 主分類號: B67C3/30
• 分類號: B67C3/30
• 代理公司: 合肥誠興知識產權代理有限公司 34109
• 代理人: 湯茂盛

技術領域

本實用新型涉及電子級氫氟酸生產領域，具體涉及一種氫氟酸灌裝裝置。

背景技術

電子級氫氟酸主要用于電子、光伏行業中生產集成電路，要求非金屬元素的含量Cl≦5000ppb、NO₃^-≦3000ppb、PO₄^3－≦1000ppb、SO₄^2－≦5000ppb，金屬元素的含量要求低于10ppb。目前對于電子級的氫氟酸生產主要是將工業氫氟酸進一步進行氧化和精餾除雜，然后進行灌裝。為提高生產效率，目前大多采用連續灌裝，亦即通過輸送帶輸送待灌裝桶，輸送帶的上方固定設置氫氟酸灌裝槍，當輸送的灌裝桶到達灌裝槍下方時對其進行灌裝。但是在生產中，為滿足不同客戶的需求，灌裝的規格不一，亦即用于灌裝的灌裝桶的高度不一，當進行較小規格的灌裝時，灌裝桶桶口與灌裝墻槍之間的間距就會過大，而灌裝的氫氟酸為易揮發性產品，會導致氫氟酸揮發加劇。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種氫氟酸灌裝裝置，其可適應不同規格的氫氟酸灌裝。

為實現上述目的，本實用新型采用了以下技術方案：一種氫氟酸灌裝裝置，其特征在于：包括用于輸送灌裝桶的輸送帶以及輸送帶正上方設置的氫氟酸灌裝槍，灌裝槍固定在支架上，灌裝槍與輸送帶之間設置用于灌裝時放置灌裝桶的擱物臺，擱物臺與灌裝槍之間設置用于調節兩者之間間距的調節組件。

上述方案中，通過設置一調節擱物臺與灌裝槍之間間距的調節組件，以適應不同高度灌裝桶的罐裝，滿足不同客戶罐裝的需求。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2卡座和排氣罩的結構示意圖。

具體實施方式

本實用新型采取的方案如圖1所示，一種氫氟酸灌裝裝置，包括用于輸送灌裝桶12的輸送帶14以及輸送帶14正上方設置的氫氟酸灌裝槍11，灌裝槍11固定在支架上，灌裝槍11與輸送帶14之間設置用于灌裝時放置灌裝桶12的擱物臺13，擱物臺13與灌裝槍11之間設置用于調節兩者之間間距的調節組件。這里擱物臺13可以由升降裝置構成，此時調節組件就是構成升降裝置的升降機構，如氣缸、彈簧、絲桿螺母調節機構構成的調節組件。當然也可采用調節灌裝槍11在鉛垂方向移動的調節組件，但是實際操作時，優選調節擱物臺13進行升降，從而實現兩者之間間距的調節，適應不同規格的罐裝。

由于罐裝的產品為氫氟酸，氫氟酸容易揮發，因此，本實用新型的進一步方案為，支架包括沿輸送帶14帶寬方向懸臂狀設置的支撐臂17，支撐臂17的懸置端設置用于固定灌裝槍11的卡座15以及用于抽除灌裝時揮發的氫氟酸的排氣罩16，排氣罩16為一至于灌裝桶桶口上方的環形件構成，灌裝槍11的槍桿穿過環形件延伸至灌裝桶12桶口處，環形件的本體設置成空腔狀且其內環面上均勻設置用于連通其內部空腔與外界的通孔161，排氣罩16的內腔與引風組件19相連通連接。支撐臂17為一管狀件構成，排氣罩16的內腔與管狀件的管腔相連通連接，支撐臂17的另一端與立狀布置的支撐管件18繞支撐管件18管長方向構成轉動配合連接，構成支撐臂17的管狀件的管腔與支撐管件18的管腔相連通連接，支撐管件18的下端與引風組件19相連通連接。通過排氣罩16將揮發的氫氟酸排除，防止污染環境。為了便于不同工人實際操作，因此要求灌裝槍11在輸送帶14寬度方向的位置可進行調節，而支撐臂17又需要與支撐管體18連通連接，因此將兩者在鉛垂方向構成轉動配合連接，亦即通過轉動支撐臂17來調節灌裝槍11在輸送帶14寬度方向上的位置，滿足不同操作工人的操作。

為了保證灌裝槍11穩定的被固定，本實用新型中卡座15按照如圖2所示方案實施，所述的卡座15包括一立狀布置的板體151，板體151下部靠近排氣罩16一側的板面上設置沿輸送帶14輸送方向布置的折板，折板與板體組合構成開口向上的用于固定灌裝槍11的第一卡口152，板體151上側邊的邊緣中部向板體151本體開設一倒“凸”字形的空缺部，該空缺部構成用于固定灌裝槍11的第二卡口153，板體靠近排氣罩16一側的板面中部還設置有對灌裝槍11在卡座15上的固定進行檢測的探頭154。灌裝槍11包括固定槍柄的一固定板，固定板的背面上、下邊部分別設置折板構成的掛鉤，兩掛鉤分別于第一、二卡口151、152進行卡接配合，第一卡口151實現灌裝槍11在輸送帶14寬度方向和鉛垂方向上的定位，第二卡口153實現灌裝槍11在輸送帶長度方向和鉛垂方向上的定位，同時探頭154可以對罐裝槍固定是否可靠進行檢測。在具體操作時同一輸送帶14的上方可設置多個擱物臺13和罐裝槍11。整個灌裝裝置安裝在潔凈罐裝室中，當輸送帶14連續輸送的灌裝桶12到達灌裝槍11位置時，操作工人將該灌裝桶12取置于擱物臺13上進行灌裝。當需要改變罐裝規格時，通過調節組件調節擱物臺13與灌裝槍11之間的間距以與改變后的灌裝桶12高度相適配，然后再進行灌裝。總之，本實用新型可適應不同規格的氫氟酸灌裝。