[實(shí)用新型]一種垂直結(jié)構(gòu)光分路器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420074915.2
• 申請(qǐng)日: 2014-02-21
• 公開（公告）號(hào): CN203759296U
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭智祥;劉勇;胡燦棟;張曉川;陸昇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州天野通信設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): G02B6/132
• 分類號(hào): G02B6/132;G02B6/122;G02B6/24
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

1.一種垂直結(jié)構(gòu)光分路器，其特征在于，包括：

襯底層(15)，并對(duì)襯底層的表面進(jìn)行拋光處理；

在襯底層的上表面，通過CVD方法沉積制作厚度為10微米的下包層(16)；

在下包層的上表面，通過CVD方法沉積制作厚度為4-5微米的一號(hào)夾包層(8)，并且一號(hào)夾包層的折射率等于下包層的折射率；

對(duì)一號(hào)夾包層進(jìn)行光刻和刻蝕得到一號(hào)矩形凹槽，并且一號(hào)矩形凹槽的槽底落在下包層的上表面上，一號(hào)矩形凹槽的寬度等于輸入波導(dǎo)的寬度，一號(hào)矩形凹槽的長度為600-800毫米；

在一號(hào)矩形凹槽內(nèi)通過CVD方法和/或刻蝕技術(shù)填滿沉積制作出一號(hào)矩形干涉波導(dǎo)(1)，并且一號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面與一號(hào)夾包層的上表面在同一個(gè)水平面上，一號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率大于下包層的折射率；

在一號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面以及一號(hào)夾包層的上表面，通過CVD方法沉積制作厚度為6微米的二號(hào)夾包層(9)，并且二號(hào)夾包層的折射率等于下包層的折射率；

對(duì)二號(hào)夾包層進(jìn)行光刻和刻蝕得到二號(hào)矩形凹槽，并且二號(hào)矩形凹槽的長度大于一號(hào)矩形凹槽的長度，二號(hào)矩形凹槽由二號(hào)矩形凹槽干涉段和二號(hào)矩形凹槽輸出段組成，二號(hào)矩形凹槽干涉段的槽底落在一號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面上，二號(hào)矩形凹槽輸出段的槽底落在一號(hào)夾包層的上表面上，二號(hào)矩形凹槽的寬度等于輸入波導(dǎo)的寬度，二號(hào)矩形凹槽的左端端部與一號(hào)矩形凹槽的左端端部在同一個(gè)左端豎直平面內(nèi)，二號(hào)矩形凹槽的中軸線與一號(hào)矩形凹槽的中軸線在同一個(gè)中軸線豎直平面內(nèi)；

在二號(hào)矩形凹槽內(nèi)通過CVD方法和/或刻蝕技術(shù)填滿沉積制作出二號(hào)矩形干涉波導(dǎo)(2)，并且二號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面與二號(hào)夾包層的上表面在同一個(gè)水平面上，二號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率等于一號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率；

在二號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面以及二號(hào)夾包層的上表面，通過CVD方法沉積制作厚度為3-4微米的三號(hào)夾包層(10)，并且三號(hào)夾包層的折射率等于下包層的折射率；

對(duì)三號(hào)夾包層進(jìn)行光刻和刻蝕得到三號(hào)矩形凹槽，并且三號(hào)矩形凹槽的長度等于一號(hào)矩形凹槽的長度，三號(hào)矩形凹槽的槽底落在二號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面上，三號(hào)矩形凹槽的寬度等于輸入波導(dǎo)的寬度，三號(hào)矩形凹槽的左端端部落在所述的左端豎直平面內(nèi)，三號(hào)矩形凹槽的中軸線落在所述的中軸線豎直平面內(nèi)；

在三號(hào)矩形凹槽內(nèi)通過CVD方法和/或刻蝕技術(shù)填滿沉積制作出三號(hào)矩形干涉波導(dǎo)(3)，并且三號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面與三號(hào)夾包層的上表面在同一個(gè)水平面上，三號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率等于一號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率；

在三號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面以及三號(hào)夾包層的上表面，通過CVD方法沉積制作厚度為6微米的四號(hào)夾包層(11)，并且四號(hào)夾包層的折射率等于下包層的折射率；

對(duì)四號(hào)夾包層進(jìn)行光刻和刻蝕得到四號(hào)矩形凹槽，并且四號(hào)矩形凹槽的長度大于一號(hào)矩形凹槽的長度，四號(hào)矩形凹槽由四號(hào)矩形凹槽干涉段和四號(hào)矩形凹槽輸入段組成，四號(hào)矩形凹槽干涉段的槽底落在三號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面上，四號(hào)矩形凹槽輸入段的槽底落在三號(hào)夾包層的上表面上，四號(hào)矩形凹槽的寬度等于輸入波導(dǎo)的寬度，四號(hào)矩形凹槽的右端端部與一號(hào)矩形凹槽的右端端部在同一個(gè)右端豎直平面內(nèi)，四號(hào)矩形凹槽的中軸線落在所述的中軸線豎直平面內(nèi)；

在四號(hào)矩形凹槽內(nèi)通過CVD方法和/或刻蝕技術(shù)填滿沉積制作出四號(hào)矩形干涉波導(dǎo)(4)，并且四號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面與四號(hào)夾包層的上表面在同一個(gè)水平面上，四號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率等于一號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率；

在四號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面以及四號(hào)夾包層的上表面，通過CVD方法沉積制作厚度為3-4微米的五號(hào)夾包層(12)，并且五號(hào)夾包層的折射率等于下包層的折射率；

對(duì)五號(hào)夾包層進(jìn)行光刻和刻蝕得到五號(hào)矩形凹槽，并且五號(hào)矩形凹槽的長度等于一號(hào)矩形凹槽的長度，五號(hào)矩形凹槽的槽底落在四號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面上，五號(hào)矩形凹槽的寬度等于輸入波導(dǎo)的寬度，五號(hào)矩形凹槽的左端端部落在所述的左端豎直平面內(nèi)，五號(hào)矩形凹槽的中軸線落在所述的中軸線豎直平面內(nèi)；

在五號(hào)矩形凹槽內(nèi)通過CVD方法和/或刻蝕技術(shù)填滿沉積制作出五號(hào)矩形干涉波導(dǎo)(5)，并且五號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面與五號(hào)夾包層的上表面在同一個(gè)水平面上，五號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率等于一號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率；

在五號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面以及五號(hào)夾包層的上表面，通過CVD方法沉積制作厚度為6微米的六號(hào)夾包層(13)，并且六號(hào)夾包層的折射率等于下包層的折射率；

對(duì)六號(hào)夾包層進(jìn)行光刻和刻蝕得到六號(hào)矩形凹槽，并且六號(hào)矩形凹槽的長度大于一號(hào)矩形凹槽的長度，六號(hào)矩形凹槽由六號(hào)矩形凹槽干涉段和六號(hào)矩形凹槽輸出段組成，六號(hào)矩形凹槽干涉段的槽底落在五號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面上，六號(hào)矩形凹槽輸出段的槽底落在五號(hào)夾包層的上表面上，六號(hào)矩形凹槽的寬度等于輸入波導(dǎo)的寬度，六號(hào)矩形凹槽的左端端部落在所述的左端豎直平面內(nèi)，六號(hào)矩形凹槽的中軸線落在所述的中軸線豎直平面內(nèi)；

在六號(hào)矩形凹槽內(nèi)通過CVD方法和/或刻蝕技術(shù)填滿沉積制作出六號(hào)矩形干涉波導(dǎo)(6)，并且六號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面與六號(hào)夾包層的上表面在同一個(gè)水平面上，六號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率等于一號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率；

在六號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面以及六號(hào)夾包層的上表面，通過CVD方法沉積制作厚度為4-5微米的七號(hào)夾包層(14)，并且七號(hào)夾包層的折射率等于下包層的折射率；

對(duì)七號(hào)夾包層進(jìn)行光刻和刻蝕得到七號(hào)矩形凹槽，并且七號(hào)矩形凹槽的長度等于一號(hào)矩形凹槽的長度，七號(hào)矩形凹槽的槽底落在六號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面上，七號(hào)矩形凹槽的寬度等于輸入波導(dǎo)的寬度，七號(hào)矩形凹槽的左端端部落在所述的左端豎直平面內(nèi)，七號(hào)矩形凹槽的中軸線落在所述的中軸線豎直平面內(nèi)；

在七號(hào)矩形凹槽內(nèi)通過CVD方法和/或刻蝕技術(shù)填滿沉積制作出七號(hào)矩形干涉波導(dǎo)(7)，并且七號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面與七號(hào)夾包層的上表面在同一個(gè)水平面上，七號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率等于一號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的折射率；

在七號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的上表面以及七號(hào)夾包層的上表面，通過CVD方法沉積制作厚度為20微米的上包層(17)，并且上包層的折射率等于下包層的折射率；

先垂直切割出四號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的信號(hào)光輸入端，垂直切割出二號(hào)矩形干涉波導(dǎo)和六號(hào)矩形干涉波導(dǎo)的輸出端，然后通過封裝技術(shù)進(jìn)行貼蓋板封裝。