[實用新型]一種反射相位延遲鏡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420052295.2
• 申請日: 2014-01-24
• 公開（公告）號: CN203773081U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發(fā)明（設計）人: 張鴻恩
• 申請（專利權）人: 大連波能激光光學有限公司
• 主分類號: G02B5/30
• 分類號: G02B5/30;G02B1/10
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 張清彥

技術領域

本實用新型涉及光學領域，特別是指一種用于激光高精度切割及焊接的反射相位延遲鏡。

背景技術

在光學系統(tǒng)中使用大量光學元件，實現光波的產生、放大以及光束的折轉、偏振等功能。其中相位延遲片是一種在光學系統(tǒng)中大量使用的光學元件，是一種重要的偏振光調制器件，以實現入射光束兩種偏振光相位差的調節(jié)。如在有機發(fā)光顯示器中的復合相位延遲片（CN102798921A），具有良好視覺特性適用于移動裝置液晶顯示器中的復合相位延遲片（CN1932560A），補償硅基液晶顯示屏產生殘余雙折射的微調相位延遲器（CN1661420A）。為了實現相位延遲，必須使用具有調節(jié)入射兩種偏振光相位差能力的各向異性材料或在利用斜入射情況下透反射相位延遲差異，如液晶（CN1078049A，CN102707362A），雙折射晶體材料（CN102383808A，CN102508328A），鋯鈦酸鉛鑭電光陶瓷材料（CN102722041A）及相位延遲光纖（CN2791666Y）等。通常情況下，相位延遲器件透射使用，依據該器件對入射光束兩種偏振光相位差的調節(jié)實現一定的相位延遲量。專利CN201166717Y，借助與兩個斜入射下使用的薄膜型相位延遲薄膜，兩個光學調整架以及一個精密調整平臺可以實現可調反射相位延遲功能，雖然此類設計是基于反射型相位延遲器件，但需要多個部件組合在一起才能實現相應的相位延遲功能，系統(tǒng)設計較為復雜。

光學諧振腔（optical?resonant?cavity）是光波在其中來回反射從而提供光能反饋的空腔，是激光器的必要組成部分，通常由兩塊與工作介質軸線垂直的平面或反射鏡構成。激光諧振腔全反射鏡，鍍制難度非常大。但它不涉及光的偏振及相位延遲，故不能應用于激光的高精度切割及焊接。

實用新型內容

本實用新型提出一種反射相位延遲鏡，主要用于激光器，可實現激光的高精度切割和焊接。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：一種反射相位延遲鏡，包括平面基底片，在所述平面基底片的一面鍍有高反射膜，所述高反射膜的構成為Au（LH）m，其中，Au為鍍Au層，L為低折射率層，H為高折射率層，m為低折射率層和高折射率層交替重復的次數。即高反射膜由鍍Au層和交替重復的低折射率層和高折射率層構成。

其中，優(yōu)選地，所述低折射率層為YF₃層，所述高折射率層為ZnSe層。

其中，優(yōu)選地，所述m的值為1、2、3、4、5、6或7。

其中，優(yōu)選地，所述平面基底片為硅基底片或銅基底片。

本實用新型的有益效果為：

1.本實用新型在平面基底片首先鍍金層，然后交替鍍低折射率層和高折射率層，線偏振光以45°角入射到反射相位延遲鏡表面上時，使線偏振光分解為互相垂直且振幅基本相等的S偏振光、P偏振光矢量，實現S偏振光、P偏振光的高反射率及相位延遲。

2.本實用新型中低折射率層和高折射率層交替重復鍍制的次數為7時，線偏振光以45°角入射到反射相位延遲鏡表面上時，可實現S偏振光、P偏振光的高反射率及相位延遲90°，從而達到實現圓偏振光的目的。

3.本實用新型的反射相位延遲鏡可使激光光源輸出的線偏振光轉換為圓偏振光，圓偏振光是切割與焊接的優(yōu)良光束，使切口或焊縫一致，切口面光滑且垂直于加工表面，大幅度提高加工速度，效率高，加工質量好。

4.本實用新型反射相位延遲鏡的原理和制造方法、使用方法不但適用于高功率CO2激光光源，同樣適用于其它激光光源。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例1反射相位延遲鏡的結構示意圖；

圖2為圖1中的A部局部放大圖。

圖中：

1.平面基底片，2.鍍Au層，3.YF₃層，4.ZnSe層。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

實施例1