[實用新型]一種陣列基板、顯示裝置有效
| 申請號: | 201420047787.2 | 申請日: | 2014-01-24 |
| 公開(公告)號: | CN203705779U | 公開(公告)日: | 2014-07-09 |
| 發明(設計)人: | 張鋒;曹占鋒;姚琪;谷敬霞 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/1362 | 分類號: | G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1343;H01L27/12 |
| 代理公司: | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人: | 黃志華 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 陣列 顯示裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及液晶顯示技術,尤其涉及一種陣列基板、顯示裝置。
背景技術
薄膜晶體管液晶顯示器(Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display,簡稱TFT-LCD)具有體積小、功耗低、無輻射等特點,在當前的平板顯示器市場占據了主導地位。高級超維場轉換技術(ADvanced?Super?Dimension?Switch,簡稱ADS)通過同一平面內像素間電極產生邊緣電場,使電極間以及電極正上方的取向液晶分子都能在平面方向(平行于基板)產生旋轉轉換,在增大視角的同時提高液晶層的透光效率。
圖1是目前的ADS模式液晶顯示陣列基板的結構示意圖,該陣列基板自下而上分別通過5次掩膜工藝來制作完成,依次是在玻璃基板10上制作公共電極13時的掩膜、制作柵極11和公共電極連接線12時的掩膜、制作有源層和源漏極的掩膜、和制作鈍化層過孔的掩膜、制作像素電極14的掩膜。
目前,公共電極13和柵極11分別采用透明導電金屬氧化物薄膜和金屬材料,通過兩次掩膜工藝來完成,工藝相對復雜,成本較高。
實用新型內容
本實用新型實施例提供一種陣列基板、顯示裝置,以簡化陣列基板的制作工藝,并提高陣列基板的顯示效果。
一種陣列基板,包括:
設置在同一層的柵極和公共電極,或者設置在同一層的源漏極和像素電極,其中,
柵極和公共電極設置在同一層時,所述公共電極與所述柵極使用同一材料制作,且所述公共電極的厚度小于所述柵極的厚度,所述公共電極形成有多個狹縫,所述公共電極的透過率大于30%;
源漏極和像素電極設置在同一層時,所述像素電極與所述源漏極使用同一材料制作,且所述像素電極的厚度小于所述源漏極的厚度,所述像素電極形成有多個狹縫,所述像素電極的透過率大于30%。
由于通過同一材料來制作柵極和公共電極,可以減小工藝難度,公共電極的厚度小于柵極的厚度,保證的公共電極的透過率,并且,可以進一步通過一次雙色調掩膜制作同一層的柵極和公共電極,或通過一次雙色調掩膜制作同一層的源漏極和像素電極,節省一次掩膜,降低了工藝復雜度和工藝成本。
進一步,柵極材料或源漏極材料具體為Al、Cu、Mo、AlNd、Cr、Ti、Ag的單層金屬膜或者多層復合膜,或者具有金屬/介質一維光子晶體結構的復合膜。
較佳的,為獲得較好的透過率,所述柵極材料具體為Ag的單層金屬膜,且
所述柵極的厚度為所述公共電極的厚度為
或者,為獲得較好的透過率,所述柵極材料具體為包括ZnS、Ag、ZnS、Ag的復合膜,其中ZnS、Ag、ZnS、Ag沿著由基板指向復合膜的方向依次設置,且
所述柵極中ZnS、Ag、ZnS、Ag的厚度分別為所述公共電極中僅包括ZnS、Ag、ZnS層,厚度分別為
較佳的,所述公共電極或像素電極的厚度為透過率為30%~90%。
進一步,為減小公共電極和像素電極之間的存儲電容,公共電極和像素電極均形成有多個狹縫,且公共電極的狹縫與像素電極的狹縫平行。
更進一步,為進一步公共電極和像素電極之間的存儲電容,所述公共電極中的狹縫在基板上的投影,與像素電極中的狹縫在基板上的投影不重合。
本實用新型實施例還提供一種顯示裝置,包括上述陣列基板。
本實用新型實施例提供一種陣列基板、顯示裝置,像素電極的材質與源漏極相同但厚度小于源漏極的厚度,或公共電極的材質與柵極相同但厚度小于柵極的厚度,在減小工藝難度的基礎上,保證了陣列基板的透過率。
附圖說明
圖1為現有技術中陣列基板結構示意圖;
圖2a和圖2b為本實用新型實施例提供的陣列基板結構示意圖;
圖3a~圖3f為本實用新型實施例提供的陣列基板制造過程示意圖;
圖4為本實用新型實施例提供的Ag膜的最大勢透過率隨膜厚變化的曲線示意圖;
圖5為本實用新型實施例提供的ZnS、Ag、ZnS復合膜層透過率隨膜厚變化的曲線示意圖;
圖6為本實用新型實施例提供的陣列基板制造方法流程圖之一;
圖7為本實用新型實施例提供的陣列基板制造方法流程圖之二。
具體實施方式
本實用新型實施例提供一種陣列基板、顯示裝置,像素電極的材質與源漏極相同但厚度小于源漏極的厚度,或公共電極的材質與柵極相同但厚度小于柵極的厚度,在減小工藝難度的基礎上,保證了陣列基板的透過率。
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