[實用新型]一種ITO靶材有效
| 申請號： | 201420024561.0 | 申請日： | 2014-01-15 |
| 公開（公告）號： | CN203782225U | 公開（公告）日： | 2014-08-20 |
| 發明（設計）人： | 胡業新 | 申請（專利權）人： | 昆山日久新能源應用材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京康盛知識產權代理有限公司 11331 | 代理人： | 伊美年 |
| 地址： | 215000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 ito 靶材 | ||
【權利要求書】：
1.一種ITO靶材，包括靶材本體，其特征在于：所述靶材本體由分體式設置的外圈濺射區(3)及設置于濺射區(3)內側的非濺射區(4)構成，所述濺射區(3)與非濺射區(4)之間拼接連接。
2.根據權利要求1所述的一種ITO靶材，其特征在于：所述濺射區(3)包括對稱設置的上、下各四塊的基板(5)及兩端各一塊的端部基板(6)，所述基板與基板間及基板與端部基板間拼接連接。
3.根據權利要求1所述的一種ITO靶材，其特征在于：所述非濺射區(4)包括四塊拼接連接的基板(5)。
4.根據權利要求2或3所述的一種ITO靶材，其特征在于：所述基板(5)尺寸為0.4m×0.042m，所述端部基板(6)的尺寸為0.15m×0.127m。
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