[實用新型]一種鍍膜設備

有效

• 申請號: 201420019385.1
• 申請日: 2014-01-13
• 公開（公告）號: CN203659795U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 艾青南;董志英;潘夢霄;周賀
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01J37/02
• 分類號: H01J37/02
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本實用新型涉及電子工藝技術領域，尤其涉及一種鍍膜設備。

背景技術

當前，隨著信息化建設在蓬勃發展，作為信息發布的終端顯示設備，已經廣泛應用于工作和生活的各個方面。

在顯示設備的生產工藝中，需要對玻璃基板進行鍍膜，即在玻璃基板上形成半導體薄膜。現有的鍍膜設備包括殼體、上極板和下極板。殼體內形成有一封閉空間，上極板和下極板相對地設置于所述殼體內。由于在玻璃極板上成膜均勻性要求較高，因此，所述鍍膜設備還包括連接于所述下極板的側邊緣和所述殼體之間的多根接帶式導電條，所述殼體接地。因此，在所述鍍膜設備通電時，所述上下極板各位置之間會形成均一的電勢差，保證成膜的均勻性。

但上述現有技術存在如下技術問題：

因為上述鍍膜設備的鍍膜環境為高溫真空，所述下極板的溫度會保持在300度以上，因此，在使用一段時間后，所述接地帶式導電條會老化而斷裂，導致所述上下極板之間的電勢差分布不均而發生放電現象，影響所述玻璃極板成膜的均勻性，甚至會發生電弧灼傷等工藝不良。

實用新型內容

本申請提供一種鍍膜設備，解決了現有技術中因所述下極板的溫度較高，使得所述接地帶式導電條在使用一段時間后會老化而斷裂，導致所述上下極板之間的電勢差分布不均而發生放電現象，影響所述玻璃極板成膜的均勻性，甚至會發生電弧灼傷等工藝不良的技術問題，達到在使用一段時間后也能保證所述玻璃極板成膜均勻性的技術效果。

本申請提供一種鍍膜設備，所述鍍膜設備包括：殼體、第一電極板、第二電極板和多個接地金屬桿；所述第一電極板設置于所述殼體內；所述第二電極板設置于所述殼體內，并與所述第一電極板相對設置，所述第二電極板能夠在靠近和遠離所述第一電極板的方向上移動；所述多個接地金屬桿的第一端固定于所述第二電極板與所述第一電極板相背的表面上，與所述第一端相對的第二端穿出所述殼體以接地。

優選地，所述鍍膜設備還包括多個密封罩，所述多個密封罩的每個密封罩罩設于所述多個接地金屬桿的一個接地金屬桿的第二端上，并固定于所述殼體上。

優選地，所述密封罩為可伸縮的，所述接地金屬桿的第二端的端部固定于所述密封罩上。

優選地，所述密封罩具體為一端封閉的波紋管或彈性橡膠管。

優選地，所述殼體為金屬殼體，所述金屬接地桿的第二端和所述金屬殼體通過導線連接，所述金屬殼體與接地線連接。

優選地，所述鍍膜設備還包括中間桿，所述中間桿的一端固定于所述第二電極板與所述第一電極板相背的表面上，另一端穿出所述殼體，所述中間桿內開設有容置電線的容置槽，所述電線用以為所述第二電極板內的加熱器件提供電源。

優選地，所述第一電極板固定于所述殼體內的頂部。優選地，所述多個接地金屬桿均勻分布在所述第二電極板與所述第一電極板相背的表面上。

優選地，所述多個接地金屬桿與所述第二電極板垂直連接。

本申請有益效果如下：

上述鍍膜設備通過設置第一端固定在所述第二電極板與所述第一電極板相背的表面上，與所述第一端相對的第二端穿出所述殼體的多個接地金屬桿，從而在所述鍍膜設備通電時，能夠在所述第一電極板和所述第二電極板之間形成均一的電勢差，且由于接地金屬桿本身的特性，在使用一段時間后，所述接地金屬桿也不會因為所述第二電極板的高溫而發生老化斷裂的現象，能夠所述第一電極板和所述第二電極板之間的電勢差均一，從而解決了現有技術中因所述下極板的溫度較高，使得所述接地帶式導電條在使用一段時間后會老化而斷裂，導致所述上下極板之間的電勢差分布不均而發生放電現象，影響所述玻璃極板成膜的均勻性，甚至會發生電弧灼傷等工藝不良的技術問題，達到在使用一段時間后也能保證所述玻璃極板成膜均勻性的技術效果。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例。

圖1為本申請第一較佳實施方式鍍膜設備的結構示意圖。

具體實施方式

為了更好的理解上述技術方案，下面將結合說明書附圖以及具體的實施方式對上述技術方案進行詳細的說明。

如圖1所示，為本申請第一較佳實施方式鍍膜設備100的結構示意圖。所述鍍膜設備100包括殼體10、第一電極板20、第二電極板30和多個接地金屬桿40。