[實用新型]一種光激勵光纖光柵懸臂梁諧振子真空度傳感器有效

申請號：	201420019098.0	申請日：	2014-01-09
公開（公告）號：	CN203745132U	公開（公告）日：	2014-07-30
發明（設計）人：	鄒建宇;劉月明;陳浩;夏忠誠;高曉良	申請（專利權）人：	中國計量學院
主分類號：	G01L21/00	分類號：	G01L21/00
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	310018 浙***	國省代碼：	浙江;33
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種激勵光纖光柵懸臂梁諧振子真空傳感器
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【權利要求書】：

1.一種光激勵光纖光柵懸臂梁諧振子真空度傳感器，包括LD光源(1)、光纖定向耦合器(2)、光電探測器(3)、傳感探頭(4)、匹配液(5)、微加工的光纖光柵(6)、金屬鍍膜(7)、匹配濾波FBG(8)；所述的LD光源(1)與光纖定向耦合器的一端口(100)連接，定向耦合器的二端口(101)連接匹配濾波FBG(8)，光電探測器(3)連接匹配濾波FBG(8)的另一端，光纖定向耦合器的三端口(102)與傳感探頭(4)連接，光纖定向耦合器的四端口(103)浸入匹配液(5)組成完整的真空度探測系統。?

2.根據權利要求1所述的一種光激勵光纖光柵懸臂梁諧振子真空度傳感器，其特征在于，所述的光纖光柵懸臂梁諧振子直接在單模光纖的光柵結構基礎上，去光柵結構處上半部分包層和部分纖芯，形成截面為D型的光纖光柵懸臂梁諧振子器件結構。?

3.根據權利要求1所述的一種光激勵光纖光柵懸臂梁諧振子真空度傳感器，其特征在于，所述的光纖光柵懸臂梁諧振子首先基于單模光纖端面加工出一段D型懸臂梁，然后再在D型懸臂梁上微加工寫入光柵結構，形成光纖光柵懸臂梁諧振子器件結構。?

4.根據權利要求1所述的一種光激勵光纖光柵懸臂梁諧振子真空度傳感器，其特征在于，所述的光纖光柵懸臂梁諧振子表面鍍有金屬薄膜，鍍膜材料為金和鉻。?

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