[實用新型]一種微蝕刻液回收設備有效
| 申請號： | 201420018546.5 | 申請日： | 2014-01-13 |
| 公開（公告）號： | CN203653712U | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發明（設計）人： | 匡思鵬 | 申請（專利權）人： | 廣東臺盛環保科技有限公司 |
| 主分類號： | C25C1/12 | 分類號： | C25C1/12;C25C7/00 |
| 代理公司： | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 523000 *** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 蝕刻 回收 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種微蝕刻液回收設備，其特征在于：包括回收機構、儲存槽和循環水泵；
所述回收機構包括電解槽、置于所述電解槽內的電極組件、以及旋轉裝置，
所述電解槽為圓環形容器，包括底板及同心設置的內管和外管，
所述旋轉裝置包括導電棒和電機，所述導電棒設于所述電解槽的軸心處，所述導電棒由所述電機驅動繞軸旋轉，
所述電極組件包括呈圓筒狀且同心設置的鈦陽極和鈦陰極，所述鈦陽極的內表面覆有氧化釕層，所述鈦陽極設于所述外管的內壁，所述鈦陰極套設于所述內管之外，所述鈦陽極與所述鈦陰極的半徑之比為4:1，所述鈦陰極的頂部與所述導電棒固定；
所述電解槽通過所述循環水泵與所述儲存槽連通。
2.根據權利要求1所述的一種微蝕刻液回收設備，其特征在于：所述鈦陰極上設有若干絕緣的軸向分割線。
3.根據權利要求1所述的一種微蝕刻液回收設備，其特征在于：所述外管上設有與所述儲存槽連通的溢流口，所述溢流口的底部低于所述內管的頂部。
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