[實用新型]一種靶材組件有效
| 申請號： | 201420001795.3 | 申請日： | 2014-01-02 |
| 公開（公告）號： | CN203683651U | 公開（公告）日： | 2014-07-02 |
| 發明（設計）人： | 陳俊杰;黃威智;方家芳 | 申請（專利權）人： | 昆山全亞冠環保科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;B23K1/00;B23K1/20 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林;汪慶朋 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 組件 | ||
【權利要求書】：
1.一種靶材組件，包括背板（1）和靶材（5），其特征在于，所述背板（1）的焊合表面設有低熔點的背板焊料層（2），所述靶材（5）的焊合表面從內到外依次設有等離子噴涂界面層（4）和低熔點的靶材焊料層（3）；
所述背板焊料層（2）與靶材焊料層（3）軟焊接。
2.根據權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，
所述靶材（5）的組成成分為石墨。
3.根據權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，
所述背板（1）的材料為銅。
4.根據權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，
所述背板焊料層（2）和靶材焊料層（3）的材料均為銦或錫。
5.根據權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，
所述等離子噴涂界面層（4）的材料為氧化鉻或氧化鋁。
6.根據權利要求5所述的靶材組件，其特征在于，
所述等離子噴涂界面層（4）的厚度不小于100微米。
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