[發(fā)明專利]一種膜塑封POP封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410840967.0 | 申請日: | 2014-12-30 |
| 公開(公告)號(hào): | CN104576608A | 公開(公告)日: | 2015-04-29 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 梁天勝;李濤濤;諶世廣;劉衛(wèi)東 | 申請(專利權(quán))人: | 華天科技(西安)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L23/538 | 分類號(hào): | H01L23/538;H01L23/31;H01L21/768;H01L21/56 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 710018 陜西省西安*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 塑封 pop 封裝 結(jié)構(gòu) 及其 制備 方法 | ||
1.一種膜塑封POP封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述結(jié)構(gòu)包括下封裝體和上封裝體;
下封裝體主要由基板(1)、焊盤(2)、基板上表面焊球(3)、芯片(4)、凸點(diǎn)(5)、底部填充膠(6)、塑封體(8)和基板下表面焊球(9)組成;所述基板(1)通過焊盤(2)、凸點(diǎn)(5)連接有芯片(4),底部填充膠(6)填充四者的連接部分;基板(1)通過其下表面的焊盤(2)連接有基板下表面焊球(9),基板(1)通過其上表面的焊盤(2)連接有基板上表面焊球(3),塑封體(8)包圍有芯片(4)、底部填充膠(6)以及基板上表面焊球(3)的下部分;
上封裝體主要由上封裝體基板(10)、上封裝體焊盤(11)、上封裝體芯片(12)、上封裝體凸點(diǎn)(13)、上封裝體的底部填充膠(14)、上封裝體基板下表面焊球(15)組成;所述上封裝體基板(10)通過上封裝體焊盤(11)、上封裝體凸點(diǎn)(13)連接有上封裝體芯片(12),上封裝體的底部填充膠(14)填充四者的連接部分;上封裝體基板(10)通過其下表面的上封裝體焊盤(11)連接有上封裝體基板下表面焊球(15);
所述上封裝體基板下表面焊球(15)與下封裝體基板上表面焊球(3)的上部分相互對位焊接。
2.一種膜塑封POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,具體按照如下步驟進(jìn)行:
步驟A:?下封裝體基板(1)上表面倒裝上芯和回流焊,基板(1)與芯片(4)互連形成電流通路;
步驟B:?下封裝體基板(1)和芯片(4)用底部填充膠(6)固化保護(hù)凸點(diǎn)(5),防止再次過回流焊導(dǎo)致凸點(diǎn)(5)出現(xiàn)變異;
步驟C:在下封裝體基板(1)上表面的焊盤(2)區(qū)域制作焊球,形成基板上表面焊球(3);
步驟D:對下封裝體用凹型模具(7)塑封,塑封時(shí),凹型模具(7)下行,模具(7)放置在基板上表面焊球(3)上并包圍基板上表面焊球(3)的上部分,阻擋塑封體(8)對基板上表面焊球(3)上部分的包裹,塑封體(8)僅包裹芯片(4)、底部填充膠(6)以及基板上表面焊球(3)的下部分;
步驟E:在模具(7)離開基板上表面焊球(3)后,基板上表面焊球(3)的上部分即暴露在塑封體(8)之外;
步驟F:在下封裝體基板(1)通過其下表面的焊盤(2)制作焊球,形成下封裝體基板下表面焊球(9);
步驟G:上封裝體基板(10)通過上封裝體焊盤(11)、上封裝體凸點(diǎn)(13)連接有上封裝體芯片(12),上封裝體的底部填充膠(14)填充四者的連接部分;上封裝體基板(10)通過其下表面的上封裝體焊盤(11)連接有上封裝體基板下表面焊球(15);
步驟H:上封裝體基板下表面焊球(15)與下封裝體基板上表面焊球(3)的上部分相互對位焊接,在下封裝體上表面完成上封裝體貼裝。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種膜塑封POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,所述步驟D和步驟E中模具(7)的凹部略大于基板上表面焊球(3)的上部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種膜塑封POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,所述焊球成份為Sn、SnAg、SnCu、SnPb或者SnAgCu焊料。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種膜塑封POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,所述步驟A中下封裝體為倒裝工藝,也可為鍵合工藝,也可為倒裝與鍵合混合工藝。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種膜塑封POP封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,所述步驟B中,其芯片底部還可填充有塑封料(MUF工藝)或其他可用于用以加固焊接的填充物。
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