[發明專利]改進的從包含工藝殘余物的組合物中回收鎓氫氧化物的方法

有效

• 申請號: 201410840588.1
• 申請日: 2014-12-30
• 公開（公告）號: CN104744269B
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 莎倫·黃;隆一乙川
• 申請（專利權）人: 塞克姆公司
• 主分類號: C07C211/63
• 分類號: C07C211/63;C07C209/86
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 吳小瑛;張福根

1.一種從含有鎓離子和工藝殘余物的組合物中回收鎓氫氧化物的方法，包括：

提供含有鎓離子和工藝殘余物的組合物，其中所述工藝殘余物包含光致抗蝕劑殘余物，其中所述鎓離子選自銨、鏻、锍、氧化锍和咪唑鎓；

向所述組合物中添加一定量的表面活性劑以獲得表面活性劑改性的組合物，其中所述表面活性劑為含羥基的非離子型表面活性劑；

提供陽離子交換介質；

通過將所述表面活性劑改性的組合物施加至所述陽離子交換介質來收集鎓離子，其中鎓離子與所述陽離子交換介質結合并且被所述陽離子交換介質保留，而所述工藝殘余物和所述表面活性劑不與所述陽離子交換介質結合并且基本上不被所述陽離子交換介質保留；以及

通過將含陽離子的氫氧化物組合物施加至所述陽離子交換介質，將鎓離子作為鎓氫氧化物從所述陽離子交換介質中回收。

2.根據權利要求1的方法，進一步包括將所述陽離子交換介質裝入至少一個容器中。

3.根據權利要求1的方法，進一步包括將陽離子交換介質裝入至少兩個串聯連接的容器中，其中來自所述至少兩個容器的第一容器的第一流出物作為進料施加到所述至少兩個容器的第二容器中。

4.根據權利要求3的方法，其中在收集過程中，將所述表面活性劑改性的組合物施加至所述第一容器中的所述陽離子交換介質，將所述第一流出物作為進料施加至所述第二容器，并且當在來自所述第二容器的第二流出物中檢測到預定的pH變化時，在至少所述第一容器上進行回收。

5.根據權利要求3的方法，其中在收集過程中，將所述表面活性劑改性的組合物施加至所述第一容器中的所述陽離子交換介質，將所述第一流出物作為進料施加至所述第二容器中的所述陽離子交換介質，并將來自所述第二容器的第二流出物作為進料施加至所述至少兩個容器的第三容器中的陽離子交換介質，得到第三流出物，持續收集直到在所述第三流出物中檢測到預定的pH變化。

6.根據權利要求5的方法，其中在檢測到預定的pH變化之后，在至少所述第一容器上進行回收。

7.根據權利要求6的方法，其中在檢測到預定的pH變化之后，將所述第三流出物進料至第四容器。

8.根據權利要求1的方法，其中所述鎓為季銨。

9.根據權利要求8的方法，其中所述季銨具有通式(I)：

在式(I)中，R¹、R²、R³和R⁴各自獨立地為含1至8個碳原子的烷基。

10.根據權利要求1的方法，其中所述表面活性劑為羥烷基纖維素，其中所述烷基為甲基、乙基、丙基或丁基。

11.根據權利要求1的方法，其中所述表面活性劑為羥乙基纖維素，所述羥乙基纖維素的分子量為10,000至1,000,000。

12.根據權利要求1的方法，其中所述表面活性劑為羥乙基纖維素，所述羥乙基纖維素的分子量為100,000至500,000。

13.根據權利要求1的方法，其中所述含羥基的非離子型表面活性劑是分子量為20,000至2,000,000的聚乙二醇或聚環氧乙烷，或者其中所述表面活性劑是分子量為20,000至2,000,000的聚乙烯醇。

14.根據權利要求1的方法，其中所述表面活性劑為瓜爾膠。