[發(fā)明專利]一種具有電鍍電極的硅異質(zhì)結(jié)太陽能電池及其制作方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201410826756.1
• 申請日: 2014-12-25
• 公開（公告）號: CN104538495A
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳光羽;吳波;丁江波;孟原;楊榮;李立偉;郭鐵
• 申請（專利權(quán)）人: 新奧光伏能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0224
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 郭麗

1.一種具有電鍍電極的硅異質(zhì)結(jié)太陽能電池的制作方法，其特征在于，包括：

在電池基片需要制作柵極的表面形成金屬種子層；

在所述金屬種子層的表面采用絲網(wǎng)印刷油墨工藝形成油墨柵線凹槽圖案；

經(jīng)過預(yù)定時間間隔，固化所述油墨柵線凹槽圖案；

以所述油墨柵線凹槽圖案為掩膜采用電鍍工藝沉積復(fù)合金屬層；

去除所述油墨柵線凹槽圖案，及所述金屬種子層未與所述復(fù)合金屬層接觸的部分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述絲網(wǎng)印刷油墨工藝中采用絕緣且與酸性電鍍?nèi)芤翰话l(fā)生化學(xué)反應(yīng)的油墨，所述油墨的粘度范圍為[10帕〃秒，1000帕〃秒]，所述油墨的熱固化溫度小于220攝氏度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述絲網(wǎng)印刷油墨工藝中采用的絲網(wǎng)的網(wǎng)版線寬的范圍為[10微米，120微米]。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述絲網(wǎng)印刷油墨工藝中的印刷壓力范圍為[10牛頓，100牛頓]，印刷速率范圍為[10毫米/秒，300毫米/秒]。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，固化所述油墨柵線凹槽圖案，包括：

采用加熱固化的方法固化所述油墨柵線凹槽圖案，所述加熱固化的溫度范圍為[60攝氏度，220攝氏度]，所述加熱固化的時間范圍為[30秒，1800秒]。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述預(yù)定時間間隔的范圍為[30秒，1800秒]。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述金屬種子層的材料為銅、鎳、釩、銀、鈦、鉈和鈷中的至少一種，所述金屬種子層的厚度范圍為[10納米，1000納米]。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，以所述油墨柵線凹槽圖案為掩膜采用電鍍工藝沉積復(fù)合金屬層，包括：

以所述油墨柵線凹槽圖案為掩膜采用電鍍工藝沉積銅導(dǎo)電層，所述銅導(dǎo)電層的厚度范圍為[5微米，35微米]；

在所述銅導(dǎo)電層表面以所述油墨柵線凹槽圖案為掩膜采用電鍍工藝沉積銀焊接層或錫焊接層，所述銀焊接層或錫焊接層的厚度范圍為[1微米，5微米]。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，去除所述油墨柵線凹槽圖案，及所述金屬種子層未與所述復(fù)合金屬層接觸的部分，包括：

采用堿液腐蝕法去除所述油墨柵線凹槽圖案，所采用的堿液為氫氧化鈉或者氫氧化鉀，所述堿液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為[0.1％，5％]，所述堿液腐蝕法的腐蝕時間范圍為[5秒，300秒]，所述堿液腐蝕法的腐蝕溫度范圍為[20攝氏度，60攝氏度]；

采用強(qiáng)酸腐蝕去除所述金屬種子層未與所述復(fù)合金屬層接觸的部分，所述強(qiáng)酸為鹽酸、硫酸、硝酸和磷酸中的至少一種。

10.一種具有電鍍電極的硅異質(zhì)結(jié)太陽能電池，其特征在于，所述具有電鍍電極的硅異質(zhì)結(jié)太陽能電池采用權(quán)利要求1～9任一項(xiàng)所述的方法制作得到。