[發(fā)明專利]壓入式介電高彈體壓力傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410803826.1 | 申請日： | 2014-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN104535227A | 公開（公告）日： | 2015-04-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 曲紹興;劉俊杰;毛國勇;黃曉強;鄒咤南 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江大學(xué) |
| 主分類號： | G01L1/14 | 分類號： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 杭州天勤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡紅娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓入式介電高 彈體 壓力傳感器 | ||
1.一種壓入式介電高彈體壓力傳感器，其特征在于，由下至上依次包括基底、傳感層和覆蓋層；所述基底和覆蓋層中，其中一者上設(shè)有容置孔，另外一者上設(shè)有與所述容置孔相配合以擠壓傳感層發(fā)生形變的凸柱；所述傳感層為上、下表面均設(shè)有柔性電極的介電高彈體薄膜。
2.如權(quán)利要求1所述的壓入式介電高彈體壓力傳感器，其特征在于，所述柔性電極的覆蓋區(qū)域為環(huán)形，環(huán)形的中心區(qū)域與所述凸柱位置相對。
3.如權(quán)利要求1所述的壓入式介電高彈體壓力傳感器，其特征在于，所述的柔性電極覆蓋介電高彈體薄膜，且設(shè)有若干個與所述凸柱相對的鏤空區(qū)域。
4.如權(quán)利要求1或2所述的壓入式介電高彈體壓力傳感器，其特征在于，所述容置孔設(shè)置在基底上且貫通基底，所述凸柱位于覆蓋層朝向基底的一側(cè)。
5.如權(quán)利要求4所述的壓入式介電高彈體壓力傳感器，其特征在于，所述介電高彈體薄膜的等比雙軸預(yù)拉伸值為100～200％。
6.如權(quán)利要求5所述的壓入式介電高彈體壓力傳感器，其特征在于，所述介電高彈體薄膜的厚度為0.05mm～0.5mm。
7.如權(quán)利要求6所述的壓入式介電高彈體壓力傳感器，其特征在于，所述基底和覆蓋層為柔性材質(zhì)。
8.如權(quán)利要求7所述的壓入式介電高彈體壓力傳感器，其特征在于，所述基底和覆蓋層的剛度大于所述介電高彈體薄膜的剛度。
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