[發明專利]一種鋼帶光柵的刻劃缺陷檢測裝置在審
| 申請號: | 201410803296.0 | 申請日: | 2014-12-22 |
| 公開(公告)號: | CN104535579A | 公開(公告)日: | 2015-04-22 |
| 發明(設計)人: | 孫竹;孫強;吳宏圣;李燦 | 申請(專利權)人: | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號: | G01N21/88 | 分類號: | G01N21/88;G01B11/00 |
| 代理公司: | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人: | 劉慧宇 |
| 地址: | 130033 吉*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 光柵 刻劃 缺陷 檢測 裝置 | ||
1.一種鋼帶光柵刻劃缺陷檢測的裝置,其特征是,其包括:信號探測頭(1)、標準玻璃光柵(2)、標準玻璃光柵驅動模塊(4)、信號探測頭驅動模塊(5)、信號處理模塊(9)和脈沖檢測模塊(10);
所述信號探測頭(1)包括:光源(8)、準直透鏡(11)、同軸光鏡頭(7)和光電探測器(6);
標準玻璃光柵驅動模塊(4)帶動標準玻璃光柵(2)在測量方向上滑動;信號探測頭驅動模塊(5)帶動信號探測頭(1)移動;
光源(8)發出的光經準直透鏡(11)準直后變成平行光,平行光經同軸光鏡頭(7)照射到待測鋼帶光柵(3)上,平行光被待測鋼帶光柵(3)反射后經同軸光鏡頭(7)透射至標準玻璃光柵(2)上,平行光被待測鋼帶光柵(3)及標準玻璃光柵(2)調制后入射到光電探測器(6)上,光信號經過光電探測器(6)轉為電信號,電信號被信號處理模塊(9)進行放大和A/D轉換,脈沖檢測模塊(10)將信號處理模塊(9)傳輸的電信號轉化為脈沖信號。
2.根據權利要求1所述的一種鋼帶光柵刻劃缺陷檢測的裝置,其特征在于,所述光電探測器(6)接收被標準玻璃光柵(2)及待測鋼帶光柵(3)所調制的光信號,并轉化為電信號,所述光電探測器(6)選擇硅光電池。
3.根據權利要求1所述的一種鋼帶光柵刻劃缺陷檢測的裝置,其特征在于,同軸光鏡頭(7)選用雙遠心的鏡頭。
4.根據權利要求1所述的一種鋼帶光柵刻劃缺陷檢測的裝置,其特征在于,光源(8)采用中心波長為660nm的可見光LED。
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