[發(fā)明專利]藍(lán)寶石襯底材料的復(fù)合堿拋光液及其循環(huán)使用方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410779195.4
• 申請(qǐng)日: 2014-12-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104449403A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 牛新環(huán);高寶紅;孫鳴;王如;王娟;劉玉嶺
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河北工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): C09G1/02
• 分類號(hào): C09G1/02;H01L21/306
• 代理公司: 天津市三利專利商標(biāo)代理有限公司 12107
• 代理人: 楊紅

1.一種藍(lán)寶石襯底材料的復(fù)合堿拋光液,其特征是：其主要組成按重量％計(jì)，包括重量濃度2-50wt％以及粒徑15-150nm的納米SiO₂水溶膠10-50％、活性劑0.05-1％，螯合劑0.1-1％，pH調(diào)節(jié)劑0.1-2％，pH調(diào)節(jié)劑為無(wú)機(jī)堿和有機(jī)堿的混合物構(gòu)成復(fù)合堿，所述無(wú)機(jī)堿0.05-1.5％，有機(jī)堿0.05-0.5％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底材料的復(fù)合堿拋光液,其特征是：所述復(fù)合堿拋光液的制備方法，按重量％計(jì),將0.05-1.5％的無(wú)機(jī)堿加入去離子水稀釋至完全溶解，邊攪拌邊加入0.05-0.5％的有機(jī)堿混合后作為pH調(diào)節(jié)劑；取44-89.65％的去離子水，邊攪拌邊加入10-50％納米SiO₂水溶膠，隨后邊攪拌邊依次加入0.05-1％的活性劑，0.1-1％的螯合劑，0.1-2％pH調(diào)節(jié)劑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底材料的復(fù)合堿拋光液,其特征是：所述活性劑為FA/O?I型非離子表面活性劑、O_II-7((C_1OH₂₁-C₆H₄-O-CH₂CH₂O)₇-H)、O_II-10((C_1OH₂₁-C₆H₄-O-CH₂CH₂O)₁₀-H)、O-20(C_12-18H_25-37-C₆H₄-O-CH₂CH₂O)₇₀-H)、或JFC的一種或幾種混合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底材料的復(fù)合堿拋光液,其特征是：所述pH調(diào)節(jié)劑的pH值為9-13。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底材料的復(fù)合堿拋光液,其特征是：所述pH調(diào)節(jié)劑中的無(wú)機(jī)堿包括KOH、NaOH的一種或兩種混合；有機(jī)堿包括羥乙基二胺、三乙醇胺、四羥基乙二胺或四羥乙基乙二胺的一種或幾種混合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底材料的復(fù)合堿拋光液,其特征是：所述的螯合劑為FA/O?II型螯合劑。

7.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述藍(lán)寶石襯底材料的復(fù)合堿拋光液的循環(huán)使用方法，其特征是：依據(jù)隨拋光次數(shù)的增加去除速率逐漸降低的規(guī)律，根據(jù)工藝要求去除的厚度設(shè)定拋光時(shí)間，當(dāng)去除速率達(dá)不到工藝要求值時(shí)，拋光液停止循環(huán)使用；具體拋光液循環(huán)使用的實(shí)施步驟為，取制備好的拋光液10Kg，拋光液流量100g/min-300g/min，拋光壓力0-0.2MPa，拋光轉(zhuǎn)速40-60rpm，拋光溫度30-40℃，當(dāng)拋光速率小于等于1.5微米/小時(shí)，拋光液停止循環(huán)使用。